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無油干式真空泵的工作原理和應用
應用范圍：
無油真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
[1]低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
[2]半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕 性氣體和研磨微粒；
[3]除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要 求；
[4]在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
[5]用做一般無油清潔真空系統的前級 泵，以防止油污染。
工作原理：
無油活塞式真空泵又名【干式機械泵】，意思是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。目前，真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本。其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作。
