流量范圍3Sccm~30Slpm
Z大的入口壓力150psig(Max1500psig)
操作壓力正常范圍5~50psid
控制范圍50~1
準確選擇(類比)±1.0%ofF.S
線性InAccuracy
重復性±0.25%ofF.S
質量流量計
型號：5850E
儀器資料：
流量范圍3Sccm~30Slpm
zui大的入口壓力150psig（Max1500psig）
操作壓力正常范圍5~50psid
控制范圍50~1
準確選擇（類比）±1.0%ofF.S
線性InAccuracy
重復性±0.25%ofF.S
反應時間Flowsignal:<0.3sec
溫度系數±0.1%F.S/°C（N2）
正常的工作溫度范圍5°Cto65°C
輸入電壓±15VDC350mA
類比輸入/輸出信號0~5Vdc
連接器類型15-pinD-sub
本體材料和封條類型SS316L&Viton,Buna-N,Kalrez
漏率標準1*10¯9atmscc/secHe
管路接頭型式1/4"VCR,1/4"SWG
1/4"VCO,3/8"SWG
流量在30L/MIN以下都可以的
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