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FT-330系列普通四探針方阻電阻率測試儀
FT-330 Series common four probe resistance ratio test instrument
一. 描述Description:
采用范德堡測量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應、探針不等距和機械游移等外部因素對測量結果的影響及誤差,提供通訊接口,PC軟件數據處理及數據分析.中文或英文語言版本.
二.四點探針測試儀參照標準standard:
硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及國家標準設計制造;GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
三.適用范圍Applicable scope:
適用于生產企業、高等院校、科研部門,是檢驗和分析半導體材料質量的工具;液晶顯示,自動測量和系數補償,并帶有溫度補償功能,自動轉換量程;采用AD芯片控制,恒流輸出,選配:PC軟件,保存和打印數據,生成報表
用于:覆蓋膜;導電高分子膜,高、低溫電熱膜;隔熱、導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料,其他半導體材料、薄膜材料方阻測試等相關產品
四.四點探針測試儀型號及參數Models and technical parameters
規格型model FT-331 FT-332 FT-333 FT-334 FT-335 FT-336
1.方塊電阻范圍Sheet resistance 10-5~2×105Ω/□ 10-4~2×105Ω/□ 10-3~2×105Ω/□ 10-3~2×104Ω/□ 10-2~2×105Ω/□ 10-2~2×104Ω/□
2.電阻率范圍Resistivity 10-6~2×106Ω-cm 10-5~2×106Ω-cm 10-4~2×106Ω-cm 10-4~2×105Ω-cm 10-3~2×106Ω-cm 10-3~2×105Ω-cm
測試電流范圍
Test current 0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA 10μA,100µA,1mA,10mA,100mA 0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA 10μA,100µA,1mA,10mA,
100mA 0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA 1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
4.電流精度 Current accura ±0.1% ±0.2% ±0.2% ±0.3% ±0.3% ±0.3%
5.電阻精度Resistance ≤0.3% ≤0.3% ≤0.3% ≤0.5% ≤0.5% ≤0.5%
6.顯示讀數display 液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率
7.測試方式test mode 普通單電測量
8.工作電源power 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W
9.誤差errors ≤4%(標準樣片結果 Standard Sample results)
10.選購功能choose to buy 選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺;5.標準電阻
11.測試探頭Test probe 探針間距選購:1mm;2mm;3mm三種規格; 探針材質選購:碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球
溫馨提示:半導體材料測量,我們提供四探針法,低阻,高阻,雙電組合法,普通單電法,以及高溫電阻率測試儀系列,歡迎和我們保持聯系---瑞柯儀器
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