產品特點：

•與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫對薄膜的損壞；

•可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果；

•爐體有兩個溫區，可在爐體內形成溫度梯度，兩個溫區最大溫差為400℃；

•帶有預熱爐，氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

加熱爐參數：

•連續工作最高溫度為1100℃

•兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃；兩個溫區最大溫差為：400℃

•內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。

•工作電源：208-240V AC單相，最大功率：4KW

電動滑軌：

•可將電動滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動，以達到快速升溫和快速降溫的效果

•滑動速度：0-70 mm/s（可調）

升降溫速率：
• RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內，將控溫程序和溫度曲線導入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費用在本公司購買)

•為獲得最大的升溫速率，可將爐體升溫到設定溫度，然后將爐體滑到樣品放置區

射頻電源：

真空系統：

•·采用TRP-12的雙旋真空泵；

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

•真空度可達10-2Torr。

供氣系統（可選）：

•客戶可選購四通道質子流量計控制系統實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;

•流量范圍：

•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

•氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。

產品尺寸和重量：

爐體尺寸：550mmL-380mmW-520mmH

滑軌長度：1750mm

凈重：220Lbs

質保：

一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件