主要特點(diǎn)

• 本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。
• 顯示儀具有界面簡(jiǎn)潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn)，可直觀顯示所測(cè)的膜厚、速率、頻率、PWM  
• 控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。
• 通過(guò)軟件或顯示儀可對(duì)門控時(shí)間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進(jìn)行設(shè)置，并可將所測(cè)相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。
• 具有體積超小、測(cè)量精度高、操作簡(jiǎn)單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。

EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件

• 電源：DC   5V（±10%），大電流400mA
• 頻率分辨率：±0.03Hz
• 膜厚分辨率：0.0136Å（鋁）
• 膜厚準(zhǔn)確度：±0.5%，取決于過(guò)程條件，特別是傳感器的位置，材料應(yīng)力，溫度和密度
• 測(cè)量速度：100ms-1s/次，可設(shè)置
• 測(cè)量范圍：500000Å（鋁）
• 標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體：6MHz
• 計(jì)算機(jī)接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8，停止位：1，校驗(yàn)：無(wú)）
• 模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調(diào)制輸出（集電極開路或內(nèi)部5V輸出）
• 工作環(huán)境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠
• 外形尺寸：90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2顯示儀

• 輸入電源：AC 220V±10%
• 輸出電源：DC   5V  3A
• 顯示器：12×2數(shù)碼管與LED
• 通訊端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8位，停止位：1位 　，奇偶校驗(yàn)：無(wú)）
• 外形尺寸：182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探頭

• 適用晶片頻率：6MHz
• 適用晶片尺寸：Φ14mm
• 安裝法蘭：CF35
• 冷卻水管：Φ3mm，長(zhǎng)度300mm、500mm、1000mm
• 冷卻水壓：<0.3MPa
• 氣動(dòng)擋板路管：Φ3mm
• 壓縮空氣壓力：<0.8MPa，> >0.5MPa
• 烘烤溫度：通水狀態(tài)<200℃，不通水狀態(tài)法蘭<100℃
• 電氣接口：BCN插座

標(biāo)準(zhǔn)配件

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)