• 低檔716V DC 10 mA DC 7.2 W 
• 中檔720V DC 15 mA DC 10.5W 
• 高檔740V DC 40 mA DC 30 W 

• 儀器中包括有一雙極旋片泵，2XZ-2，抽氣速率為2L/s, 
• 泵上安裝有一個不銹鋼針閥，其接口為寶塔嘴接頭

• 如果基片的直徑為2"和4"，可以選購石英架，每個石英架上可以放25片
• 數字式真空顯示計，可以精確顯示石英腔體內的真空度

可選真空計

 

• 可選本公司生產研發的電阻真空計
• 此款真空計是以Pirani電阻規在不同真空環境下體現的熱傳導特性為原理而研發的一款低真空測量儀器，特別適應于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環境的真空度測量。