HORIBA SEC-E40（MK3）質量流量控制器
概要
所謂質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通?？煞譃轶w積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候，不容易受到環境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行計測和控制的領域，質量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業、太陽能光電工業和微加工制造業等。
工作原理
入口處進來的氣體被分流到流量感應器和旁路處。
通過感應器得到按質量流量比例形成的溫度變化信息，在回路中交換成 電力信號。
該信號通過增幅回路、修正回路，以 0~5V 的線形電力信號向外部輸出， 另一方面又輸入至比較控制回路中。
外部得到的設定信號和從感應器處的到的流量信號在比較回路中形成差 異信號，再輸送至下一個的閥門驅動回路中。
流量控制閥門盡可能使該差異信號降為“0”，使流量一直控制在 設定流量。
特征
- 適用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM（以N2為標準）
- 被廣泛的使用于的制造業，從一般工業到高科技產業。
制造: HORIBA STEC
HORIBA SEC-E40（MK3）質量流量控制器
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