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氣體質量流量控制器&氣體流量計

HORIBA提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的類型。我們可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取決于產品型號)。我們產品的流量范圍可覆蓋微量流量直至超大流量。

*1 Devicenet是一種通訊方式的標志。
*2 PROFIBUS是一種化的通訊方式標志。

 高范圍

壓力不敏感型高性能質量流量控制器D500
壓力不敏感型高性能質量流量控制器: D500
高穩定性質量流量模塊—氣體流量控制不受上游和下游壓力波動差影響、PI（壓力不敏感型）質量流量模塊

性能產品

熱感傳感器，壓力鈍感質量流量計SEC-Z700系列
應用高溫技術的高可靠性，高精度數字式流量控制器

高銷量

多范圍/多氣體的數字式質量流量控制器 SEC-Z500X
提供多氣體，多量程的解決方案，是HORIBA的氣體質量流量控制器。高精度，快速響應，輕巧的尺寸。全金屬

通用（數字/模擬式 通訊模式）

數字式質量流量控制器 SEC-N100 系列
針對多種工業。多種通訊方式，數字式/模擬式，DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范圍控制從10SCCM到1000SLM，全金屬

通用（模擬式 通訊模式）

質量流量控制器 SEC-E系列
適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制 適用于廣泛的用途：在普通產業市場中，擁有眾多的銷售業績，引以為豪。 低成本：產品陣容中有力求具有成本優勢的型號： SEC-E40MK3/E50MK3

 
質量流量控制器 SEC-400系列
它是搭載有溫控閥的基本型號。
利用小型裝置的SEC-310，可以進行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以進行小于200SLM的大流量控制。
高精度型號：SEC-405可以進行±0.5％F.S.的流量控制.

 高溫

高溫應用質量流量控制器 SEC-8000F/D/E系列
適用于高溫環境的數字式質量流量控制器