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超純水箱氮封閥裝置應用案例
氮封裝置(氮封閥)是由ZZDG型指揮器操作型自力式壓力調節閥(這里簡稱供氮閥)和ZZDX型自力式微壓調節閥(簡稱泄氮閥)及呼吸閥三大部份組成。當罐內壓力升高超過設定值時,供氮閥關閉,泄氮閥打開(罐頂未設呼吸閥,或呼吸閥故障打不開),將罐內多余壓力泄放。在儲罐內壓力降低時,泄氮閥處于關閉狀態,供氮閥打開,向罐內注氮氣。供氮閥閥前壓力最好在1.0Mpa以下,現場壓力較高時,可在供氮閥前安裝一只ZZYP型自力式壓力調節閥將壓力減至1.0 Mpa以下,以提高可靠性和使用效果。
氮封裝置(氮封閥)的供(泄)氮壓力設定方便,可在連續生產的條件下進行。在設定壓力范圍內,如從100mm H20需調整到50mm H20,可通過調節供氮閥頂部的調節螺絲,改變彈簧的力,即可達到需要新設定的工藝值。泄氮閥的調整也是同理。呼吸閥設定值調整:在上述設定值調整好后,為避免呼吸閥啟閉頻繁,呼吸閥的設定值應大于泄壓設定置。
通常由多介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等構成主要設備系統。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統,工業超純水設備由單片機設計(PLC)操縱,一切姿勢均在預置程序流程下全自動開展,具有自動式作用(全自動水處理、全自動清洗、源水少水/儲水箱滿水全自動關機)。工業超純水設備耗能低,合理節約資源,耗品長壽命,水處理成本費便宜。系統軟件運作靠譜,供水管道路封閉式,出水量水體平穩。
序號 | 品 名 | 型 號 及 規 格 | 單位 | 數量 | 單 價 (元) | 金 額 (元) | 閥體材質及 其它 |
1 | 氮封閥 | 氮封閥ZZYVP-II DN15 PN16 進口壓力 0.3-0.6 MPA, 出口壓力1 KPA | 臺 | 1 | 304不銹鋼 | ||
3 | 呼吸閥 | 呼吸閥CFQ DN25 PN16 正壓3KPA 負壓:-298PA | 臺 | 1 | 304不銹鋼 |
超純水設備的應用領域:
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水;
3、實驗室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產品;
6、其他高科技精微產品;
超純水箱氮封閥裝置應用案例超純水設備工藝流程:
1.1預處理單元
采用石英砂過濾、活性炭過濾、保安過濾作為兩級反滲透的預處理。
1.2膜系統單元
膜系統單元是本系統的核心,負責去除水中大部分的有害物質,保證終端產水達到標準要求。本設計中采用輔以pH值調節的兩級反滲透作為初級脫鹽工藝,EDI模塊作為深度脫鹽工藝。
1.2.1反滲透膜塊
反滲透膜是以壓力差為驅動力的液相膜分離方法,可以看作是滲透的一種反向作用。在壓力推動下,溶液中的水分子透過膜,而其它分子、離子、細菌、病毒等被截留,從而實現脫鹽效果,達到純化目的。整個反滲透系統由高壓泵、反滲透膜、壓力容器以及相應的儀器、儀表、閥門、機架、管道及管件等組成;此外還有獨立的化學清洗裝置。
1.2.2EDI模塊
EDI技術是將膜法和離子交換法結合起來的新工藝,基本原理主要包括離子交換、直流電場下離子的選擇性遷移及樹脂的電再生。水中的離子首先通過交換作用吸附于樹脂顆粒上,再在電場作用下經由樹脂顆粒構成的“離子傳輸通道"遷移到膜表面并透過離子交換膜進入濃室。由于離子的交換、遷移及離子交換樹脂的電再生相伴發生,猶如邊工作邊再生的混床離子交換樹脂柱,因此可以連續不斷地制取高質量的純水、高純水。EDI系統由增壓泵、膜堆、電源以及相應的儀器、儀表、閥門、機架、管道等組成。
1.3供水單元
純水供水循環采用254nm紫外線殺菌、拋光混床脫鹽、0.22微米過濾,達到用戶的超純水水質要求。
為保證純水的品質以及生物學指標,在工業超純水設備的終端設置精度為0.22μm的微濾膜過濾器,用于截留去除脫鹽設備出水中的微粒以及細菌尸體。由于0.22μm的微濾膜膜過濾器為整個脫鹽工藝的后一道處理設備,因此又稱終端過濾器。過濾器內裝折疊式微孔濾膜,過濾精度0.22μm,過濾器出口設置壓力表。過濾器經過一段時間的運行后,濾膜表面截留了大量雜質,使濾膜堵塞,導致工作壓力增加,當進出口壓力差增大到某一設定值時,更換濾膜。
超純水箱氮封閥裝置應用案例工作原理圖:
執行機構部分 表2
規格 型號 | 薄膜式 |
用 途 | 調 節 |
膜片材質 | 丁腈橡膠、氟橡膠、耐油橡膠 |
接 口 | m16×1.5 |
作用方式 | 壓開、壓閉 |
使用溫度 | 氣體:-20~+120℃ |
標配閥門附件 | 取壓管(含取壓接頭) |
可選閥門附件 | 取壓接管、截止閥、壓力表、法蘭、墊片及緊固件 |
超純水箱氮封閥裝置應用案例主要技術參數 表3-1 氮封調節閥主要技術參數
公稱通徑 | 20 | 25 | 32 | 40 | 50 | 65 | 80 | 100 | 125 | 150 | 200 |
額定kv | 7 | 11 | 20 | 30 | 48 | 75 | 120 | 190 | 300 | 480 | 760 |
額定行程l(mm) | 8 | 10 | 12 | 20 | 22 | 25 | 25 | ||||
固有流量特性 | 快開 | ||||||||||
正常工作時 閥門小壓差 | ≥0.2mpa | ||||||||||
適用介質 | 非腐蝕性氣體(-20~120℃) | ||||||||||
壓力調節范圍(kpa) | 0.14-2.0 1-6 5-10 9-15 12-19 18-25 22-30 28-35 32-40 38-50 48-60 58-72 70-100 | ||||||||||
調節精度 | ±5% | ||||||||||
允許泄漏量 | 硬密封:ⅳ級(×kv);軟密封:ⅵ級(參見gb/t4213-2008) |
注:壓力調節范圍可根據客戶要求定制.
超純水箱氮封閥裝置應用案例表3-2 小流量氮封調節閥主要技術參數
公稱通徑 | 20、25 | ||||||||||
2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 12 | 15 | |
額定kv | 0.02 | 0.08 | 0.12 | 0.20 | 0.32 | 0.5 | 0.8 | 1.2 | 1.8 | 2.5 | 4 |
額定行程l(mm) | 5 | ||||||||||
固有流量特性 | 線性、修正線性 | 快開 | |||||||||
正常工作時 閥門小壓差 | ≥0.2mpa | ||||||||||
調節精度 | ±5% | ||||||||||
允許泄漏量 | 硬密封:ⅳ級(×kv);軟密封:ⅵ級(參見gb/t4213-2008) |
超純水箱氮封閥裝置應用案例超純水設備運輸方式說明:
鐵路、公路、快遞這三種方式是更常用的運輸工業超純水設備的方式。
鐵路運輸,到達目的地火車站時,需提供收貨人的證件才能取貨,且從火車站到客戶手中,需自行組織車輛進行運輸。但鐵路運輸不易損壞貨物。
公路運輸,公路運輸主要適用于近距離的客戶,由公司直接派車送貨上門,能更快更好的為超純水設備使用客戶進行安裝和培訓,同時能確保超純水設備不被損壞。
快遞,快遞運輸是更常用的運輸方式,也是客戶更常選擇的運輸方式。快遞運輸能清楚的看到設備的運輸情況,也更讓買家放心。但是快遞運輸容易造成貨物的損壞,每年公司和客戶因快遞運輸造成的損失都是不可估量的。
航空運輸,航空運輸雖然能為急用的客戶更快的將產品送到,但是由于運輸成本過高且設備的離子交換樹脂中含有水份,也使得超純水設備通過航空運輸受到了很大的限制。因此航空運輸在超純水設備的運輸中很少見。
運輸過程中的注意事項:
由于工業超純水設備的純化設備中含有離子交換樹脂等純化樹脂,離子交換樹脂含有一定水份,不宜露天存放;因此儲運過程中應保持濕潤,以免風干脫水,使樹脂破碎。此外在運輸過程中應保持工業超純水設備在5-40℃的溫度環境中,避免過冷或過熱,影響樹脂的質量。
超純水箱氮封閥裝置應用案例
1、水箱未滿水前需要補水;
2、補水時需要打開呼吸器;
3、補水時水箱滿后設備需停水;
4、水箱水位不足后處理系統需停機保護直至水位正常;
5、補水完成后關掉呼吸器;
6、前面的步驟完成后再補氮氣……這些都需要有一套全自動的程序來協調控制,保證超純水不會被大氣污染。
7、反滲透設備在使用前,需采用蒸氣進行高溫消毒,設備運行時前72小時生產出來的超純水需排放掉。
8、檢測超純水需在出水口安裝可流運水專用探測槽再裝電阻率擦頭,才能反映出超純水的水質。
超純水箱氮封閥裝置應用案例超純水箱單封裝置
因為一般的常用儲水罐為了維持內部與外部的壓力平衡,當罐內水量減少的時候,除非使罐子被不斷的壓縮,不然罐內就會有空氣填入其中,維持外部與內部的平衡,顯然在超純水的生產過程中,使空氣進入是非常不理智的行為。
常見的大氣中富含各種污染物質,這類污染物質雖然對人體的影響并不是很大,但是在高精度儀器面前,它們會時刻影響實驗數據,讓數據出現不同程度的改變,特別是在電子級實驗面前,微生物或者離子的影響都會使實驗數據失效,所以采用氮封裝置能很好的保證儲水桶內的水質穩定。氮封裝置由供氮裝置和泄氮裝置兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組成;泄氮裝置由內反饋的壓開型微壓調節閥組成。氮氣壓力一般設為100mmH2O,通過氮封裝置精確控制。
當水箱上游水泵開啟,向超純水水箱補水時,水箱水位上升,氣相部分容積減小,壓力升高,當水箱上部氣體空間壓力升至高于泄氮裝置壓力設定值時,泄氮裝置打開,向外界釋放氮氣,使罐內壓力下降,當降至泄氮裝置壓力設定點時,泄氮裝置自動關閉。
當水箱后級水泵開啟,用戶端開始用水時,液面下降,氣相部分容積增大,罐內壓力降低,供氮裝置開啟,向儲罐注入氮氣,使罐內壓力上升,當罐內壓力上升至供氮裝置自動關閉。
超純水箱氮封閥裝置應用案例
1.供氮裝置工作原理:
供氮裝置結構如圖所示,將設在罐頂的取壓點的介質經導壓管引入檢測機構(7)、介質在檢測元件上產生一個作用力與彈簧(8)、預緊力相平衡。當罐內壓力降低至低于供氮裝置壓力設定點時,平衡被破壞,使指揮器閥芯(6)打開,從而使閥前氣體經減壓閥(5)、節流閥(4)、進入主閥執行機構(3)上、下膜室,打主開閥閥芯(2)、向罐內充注氮氣;當罐內壓力升至供氮裝置壓力設定點時,由于預設彈簧力,關閉指揮器閥芯(6)又由于主閥執行機構中彈簧作用,關閉主閥,停止供氮。
2.泄氮裝置工作原理:
泄氮裝置結構如右圖所示,該裝置采用內反饋結構,介質直接經閥蓋進入檢測機構(2),介質在檢測元件上產生一個作用力與預設彈簧(3)預緊力相平衡。當罐內壓力升高至高于泄氮裝置壓力設定點時,平衡被破壞,使閥芯(1)上移,打開閥門,向外界泄放氮氣;當罐內壓力降至泄氮裝置壓力設定點時,由于預設彈簧力作用,關閉閥門。
氮封裝置主要用于保持容器頂部保護氣(一般為氮氣)的壓力恒定,以避免容器內物料與空氣直接接觸,防止物料揮發,被氧化,以及容器的安全。特別適用于大型儲罐的氣封保護系統。該產品具有節能環保、動作靈敏、運行可靠、操作簡單和維修方便等特點。
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