尼康干涉物鏡10X/20X/50X應用

用于半導體

精密儀器

電子和航空等領域

尼康CF PLan 50X DI參數(shù)

數(shù)值孔徑 0.55

工作距離（mm） 3.4

焦距（mm） 4

分辨率（μm） 0.5

景深（μm） 0.9

視場(mm) 目鏡，直徑25視場 0.5

目鏡，直徑20視場0.4

2/3"傳感器 (H x V) 0.18 x 0.13

?"傳感器 (H x V) 0.13 x 0.10

其它 可調干涉物鏡

物鏡是顯微鏡最重要的光學部件，利用光線使被檢物體第一次成像，因而直接關系和影響著成像的質量和各項光學技術參數(shù)，是衡量是臺顯微鏡質量的首要標準。

物鏡的結構復雜，制作精密，由于對像差原校正，在金屬的物鏡筒內(nèi)由相隔一定距離并被固定的透鏡組組合而成。每組透鏡又由不同的材料、不同參數(shù)的一至數(shù)塊透鏡膠合在一起。物鏡最前面的透鏡稱“前透鏡"，最后面的透鏡稱“后透鏡"，物鏡復合透鏡組的總焦距為物鏡的焦距。物鏡前透鏡與被檢物體之間的距離為工作距離（自由工作距離）。在高倍鏡檢時，為了防止物鏡與制片的相觸、壓碎玻片和損傷鏡頭，除物鏡的先端有彈簧裝置外，還應使整套物鏡由低倍至高倍必須齊焦。

齊焦即是在鏡檢時，當用某一倍率的物鏡觀察圖象清晰后，在轉換另一倍率的物鏡時，其成象亦應基本清晰，而且象的中心偏離也應在一定允許的范圍內(nèi)，也就是合軸程度。齊焦性能的優(yōu)劣和合軸程度的高低是顯微鏡質量的一個重要標志，它是與物鏡的本身質量和物鏡轉換器的精度有關。優(yōu)質的顯微鏡都是合軸、齊焦的。

物鏡種類很多，可從不同的角度來進行分類，現(xiàn)分別述之。

根據(jù)物鏡前透鏡與蓋玻片之間的介質不同，可分為：

（一） 系物鏡：鏡檢時，物鏡前透鏡與蓋玻片之間是以空氣（η=1）為介質的。這類物鏡最為常用，如40X以下的物鏡，數(shù)值孔徑值均小于1。

（二） 水浸系物鏡：鏡檢時，物鏡前透鏡與蓋玻片之間是以水（η=1.333）為介質的。水為蒸餾水，這類物鏡目前很少應用。

（三） 油浸系物鏡：即油鏡頭，其放大率為90-100X。鏡檢時，物鏡前透鏡與蓋玻片之間常以香柏油、無熒光油（η=1.515左右）為介質的。此外，有時還用甘油（η=1.450）、石蠟（η=1.471）為介質。該類物鏡的外殼上常標刻有“oil"、“IL"或“HI"字樣。

上述水浸與油浸系物鏡所應用的介質均為液體物質，所以又稱為“浸液系物鏡"，數(shù)值孔徑值可大于1。

油鏡在使用后必須立即擦拭，不能久置，否則將有損鏡頭使解象力下降，而且浸油在干涸后也不易擦拭。擦拭是脫脂棉球蘸少量的灑精混合液輕輕擦去浸油，再用脫脂棉球或鏡頭紙輕擦一次。

根據(jù)物鏡放大率的高低，原則上可分為：

（一） 低倍物鏡：1X-6X，NA0.04-0.15；

（二） 中倍物鏡：6X-25X，NA0.15-0.40；

（三） 高倍物鏡：25X-63X，NA0.35-0.95；

（四） 油浸物鏡：90X-100X;NA1.25-1.40。

   根據(jù)物鏡象差校正的程度來進行分類，這對我們使用者來說，是應于了解的一個分類方法，現(xiàn)分述于下：

（一） 消色差物鏡（Achromatic objective）：這是常見的物鏡，外殼上常有“Ach“字樣，

其結構比較簡單，由兩片透鏡膠合和兩片以上透鏡組成。

這類物鏡僅能校正軸上點的位置色差和球差以及消除近軸點慧差。由于玻璃材料等原

因，不能校正其它色光的色差和球差，而且場曲很大，故不能應用于高級研究的鏡檢和顯微照相。鏡檢時，通常與惠更斯目鏡配合使用。

（二） 復消色差物鏡（Apochromatic objective）：復消色差物鏡的結構復雜，透鏡采用

了特種玻璃或熒石、氟石等材料制作而成，物鏡的外殼上標有“APO"字樣。這種物鏡不僅能校正紅、綠、藍天三色光的色差，而且在同一焦點平面上造象，達到消除“剩余色差“（又稱二級光譜）的效果，同時能較好地校正紅、藍二色光的球差。由于對各種象差的校正極為完善，比相應倍率的消色差物鏡有更大的數(shù)值孔徑，這樣不僅分辨率高、象質優(yōu)，而且也有更高的有效放大率。因此，復消然差物鏡的性能很高，適用于高級研究鏡檢和顯微照相之用。鏡檢時應與補嘗目鏡配合使用，否則圖象質量下隆。

（三） 半復消色差物鏡（Semi apochromatic objective）：半復消色差物鏡又名氟石物鏡

物鏡的外殼上常標有“FL"字樣。在結構上透鏡的數(shù)目比消色差物鏡多，比復消色差物鏡少；在成象質量上，遠較消色差物鏡為好，接近于復消色差物鏡，能校正紅、藍二色光的色差及球差。鏡檢時也應與補償目鏡配合使用。

（四） 平場物鏡（Plan objective）：平場物鏡是在物鏡透鏡系統(tǒng)中增加一塊半月形的厚

透鏡，以達到校正場曲的缺陷。平場物鏡的結構較為復雜，尤以高倍平場物鏡更為復雜。平場物鏡的視場平坦、視場較大， 且工作距離也相應地有所增長。因此，更適用于鏡檢和顯微照相之用。

   平場物鏡有：平場消色差物鏡在鏡頭的外殼上標有Plan Ach：平場復消色差物鏡在鏡頭外殼上標有Plan APO以及平場半復消色差物鏡，更為高級的為超平場物鏡和超平場復消色差物鏡。