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日本小島KOFLOC質量流量控制器
【詳細說明】
日本小島KOFLOC質量流量控制器
日本KOFLOC 3660系列質量流量控制器設計精密,成本較低。廣泛用于不同的領域,從實驗室和研究開發項目到各種分析儀器、真空裝置的標準采用機種,發揮了很好的實際效果。各種衍生的型號和附屬品可選。
產品特色:
通過采用改良型恒定電流溫度差檢測方式流量傳感器,實現快速回應。
通用的常閉型閥門確保了安全
使用電磁執行器保證了高效的可靠性
低差壓類型控制適用于燃燒的氣體(LP可選)
另有針對PM2.5設備特制品:流量16.7L/MIN,低壓差15Kpa既可,*,高性價比
技術參數:
流量FS(N2換算):10SCCM-20SLPM(3660系列)
30SLPM-100SLPM(3665系列)
氣體種類:所有氣體(腐蝕性、有毒、特殊氣體都可)
傳感器類型:熱式傳感器
閥門類型:電磁比例閥,常閉
控制范圍:2%-100%(3660系列)
5%-100%(3665系列)
控制速度:2%-100%,2秒以內
控制精度:±1.0%FS(3660系列)
±1.5%FS(3665系列)
重復性:±0.5%FS
工作差壓:滿量程FS≤5升/分鐘,49-294Kpa
5升/分鐘≤滿量程FS≤100升/分鐘,98-294Kpa
低差壓特制:2-149Kpa,根據具體流量來定制
高差壓特制:294-784Kpa,根據具體流量來定制
使用溫度:0-50℃
允許濕度:0-90%
泄漏率:≤1x10-8Pa.m3 /sec(不包含He)
產品材質:主體-SUS316
密封圈:Viton
可另選:氯丁橡膠,丁腈橡膠NBR
管路接頭:1/4英寸卡套(3660系列)
3/8英寸卡套(3665系列)
可另選:1/8英寸卡套、1/4英寸VCR、RC1/4英寸、特殊要求可定制
電氣接頭:D型9針
輸入信號:0-5V(模擬信號)
輸出信號:0-5V(模擬信號)
供應電源:+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)200mA
產品重量:800g(3660系列)、1000G(3665系列.
電氣D型9針連線示意圖:
1號針:閥門開關信號(可不接)
2號針:輸出信號0-5V
3號針:電源+15VDC
4號針:電源COM
5號針:電源-15VDC(
6號針:輸入信號0-5V
7號針:輸出信號COM
8號針:輸入信號COM
9號針:閥門電壓輸出
日本小島KOFLOC質量流量控制器