無塵潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室，潔凈室或無塵車間。它是污染控制的基礎。沒有無塵潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面，無塵潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。

氣流→初效空氣處理→空氣調節→中效空氣處理→風機加壓送風→凈化送風管道→高效送風口→潔凈室→帶走塵埃（細菌） → 回風夾道→新風、初效空氣處理。

重復以上過程，即可達到凈化目的。

技術參數

換氣次數：十萬級10－15次/小時；

萬級15－25次/小時；

千級50－52次/小時;

百級操作臺斷面風速0.25-0.35m/s；

壓差：主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa；潔凈房間對非潔凈區≥10Pa；

溫度:冬季>16℃±2℃；夏季 <26℃±2℃；

新風補充量：總送風量的20%－30%；

結構材料

1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。

2.地面采用環氧自流平或高級耐磨塑料潔凈地板。

3.凈化通風管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。