馬爾文帕納科2830ZT晶圓分析儀提供了用于測(cè)量薄膜厚度和成分的功能。2830ZT圓晶分析儀專(zhuān)門(mén)針對(duì)半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)而設(shè)計(jì)，該儀器可為多種晶片（厚達(dá)300mm）測(cè)定層結(jié)構(gòu)、厚度、摻雜度和表面均勻性。

特點(diǎn)：
1、持續(xù)的性能和速度
傳統(tǒng)X射線管會(huì)出現(xiàn)鎢燈絲揮發(fā)，從而導(dǎo)致光管鈹窗內(nèi)部出現(xiàn)沉淀物污染鈹窗。使用此類(lèi)X射線管的儀器需要定期進(jìn)行漂移校正以補(bǔ)償下降的強(qiáng)度，尤其是對(duì)于輕元素而言。

2、2830ZT配置SuperQ軟件，該軟件包含了FPMulti-一個(gè)專(zhuān)門(mén)針對(duì)多層分析開(kāi)發(fā)的軟件包。該軟件的用戶界面確保即使是沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)的操作員也可以對(duì)多層進(jìn)行全自動(dòng)的基本參數(shù)分析。
該儀器的SuperQ軟件具有多種易于使用的模塊，這些模塊能夠方便研究者和工程師進(jìn)行靈活的操作。可以輕松切換配方和調(diào)整設(shè)備參數(shù)以適應(yīng)用戶偏好。

3、FALMO-2G可輕松集成到任意實(shí)驗(yàn)室或晶片廠中：從簡(jiǎn)單的人工托架裝載到全自動(dòng)。*靈活的設(shè)計(jì)讓晶片廠經(jīng)理能夠選擇FOUP、SMIF或開(kāi)放式裝入端口，配有一個(gè)或兩個(gè)裝入端口配置。各種配置的FALMO-2G均受到符合GEM300的軟件支持。FALMO-2G的占地空間大大降低，而沒(méi)有損失靈活性、功能。