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金屬材料全自動高真空貯存柜簡介
當前金屬原料板材經裁剪（或打磨）、化學清洗及干燥處理后，存放于真空度較低（約100Pa）的真空儲存柜，仍不可避免地帶來碳、氧、氮等雜質元素的吸附污染。金屬材料全自動高真空貯存柜主要用于合金原材料的高真空貯存。
高真空儲存柜為非標工藝設備，主要原理為真空干燥箱類似抽真空，主要由進樣室、儲樣室、傳送裝置、計算機自動識別與控制等部分組成。
高真空儲存柜技術要求與指標
1、進樣室
進樣室為單腔室，主要材質為不銹鋼（304或同等以上不銹鋼），腔室內表面光潔度要求小于等于Ra0.8，零件加工工藝、部件裝配工藝嚴格按照真空規范執行，保證進樣室具有高真空度、高清潔度。具有自動放氣功能，并帶有正壓保護閥。
進樣室包括：快速進樣法蘭，視窗，傳送裝置，樣品托盤，分子泵，干泵，真空規，放氣裝置，照明裝置。極限真空度：空載、干燥、室溫下30分鐘內達到10-4 Pa，漏率小于1×10-11 Pa·m3/s。
閥門至少包括4個，包括分子泵連接進樣室、進樣室連接儲樣室（為氣動插板閥）、放氣閥、漏閥。泵包括1個分子泵和1個干泵，泵組的抽速需要滿足同時給進樣室和儲樣室抽真空的要求。
2、儲樣室
儲樣室為單腔室，主要材質為不銹鋼（304或同等以上不銹鋼），腔室內表面光潔度要求小于等于Ra0.8，零件加工工藝、部件裝配工藝嚴格按照真空規范執行，保證儲樣室具有高真空度、高清潔度。
儲樣室包括：連接進樣室法蘭，快開門法蘭和視窗，存樣裝置，離子泵，真空規，照明裝置。極限真空度：空載、干燥、室溫下≤5′10-6 Pa；漏率：<1′10-11 Pa.m3/s；空載靜態保壓：關閉抽氣設備12小時后靜態真空≤5×10-2 Pa；存、取放樣品時，儲樣室不暴露大氣；保留快開門方便儲樣室內部維護和清理；儲樣室可存放金屬原材料總重量不低于6 kg。
閥門至少包括1個，包括離子泵連接儲樣室。泵包括1個離子泵，離子泵的規格需要滿足儲樣室抽真空的要求，離子泵帶鈦升華泵，自帶加熱功能及配套電源。
3、 傳送裝置及計算機控制系統
單個樣品托盤可裝載金屬原材料重量約為300g；
控制系統模塊化設計，可實現PLC自動控制真空泵機組抽真空、機械傳送裝置在進樣室與儲樣室間進樣與取樣、儲樣室樣品架升降旋轉、進樣室放氣等全自動過程，采用真空、位置等參數反饋控制上述動作，無需人為干涉；
可任意查詢某批樣品的位置和數量；
可視化仿真軟件顯示與控制，實時顯示進樣室和儲樣室真空度、溫度等信息；
系統應與甲方的上位控制系統進行通訊，數據應采集至上位控制系統中，通訊接口及協議應滿足甲方的接口規范。
金屬材料全自動高真空貯存柜的技術要求列于表1中。
表1 詳細技術指標
序號 | 技術指標（主要服務要求） | 指標評價標準 | 備注 |
1 | 進樣室極限真空度：空載、干燥、室溫下30分鐘內達到10-4Pa | 需在響應文件實施方案中體現。 | |
2 | 儲樣室極限真空度：空載、干燥、室溫下≤5′10-6Pa； 儲樣室檢漏漏率：<1′10-11Pa.m3/s； 儲樣室空載靜態保壓：關閉抽氣設備12小時后靜態真空≤5×10-2Pa | 需在響應文件實施方案中體現。 | |
3 | 控制系統模塊化設計，可實現PLC自動控制真空泵機組抽真空、機械傳送裝置在進樣室與儲樣室間進樣與取樣、儲樣室樣品架升降旋轉、進樣室放氣等全自動過程，采用真空、位置等參數反饋控制上述動作，無需人為干涉； 可任意查詢某批樣品的位置和數量； 可視化仿真軟件顯示與控制，實時顯示進樣室和儲樣室真空度、溫度等信息 | 需在響應文件實施方案中體現。 | |
4 | 儲樣室可存放金屬原材料總重量不低于6kg | 需在響應文件實施方案中體現。 | |
5 | 單個樣品托盤可裝載金屬原材料重量約為300g | 需在響應文件實施方案中體現。 | |
6 | 質保期：2年 | 響應即可 | |
7 | 機械傳送裝置，要求機械傳送裝置（機械手）正常運行*的工作次數不低于2萬次，運行定位精度優于0.1mm。 | 響應即可 | |
8 | 閥門，要求閥門正常開關*的工作次數不低于3萬次。 | 響應即可 |