射頻磁控濺射鍍膜裝置 

型號(hào)；KY-HRM-1

產(chǎn)品編號(hào)：TC-003271

可開(kāi)設(shè)的實(shí)驗(yàn)

1、掌握射頻磁控濺射法制膜的基本原理；

2、了解磁控濺射鍍膜儀的操作過(guò)程及使用范圍；

3、磁控濺射法制備金屬膜、半導(dǎo)體膜、化合物膜、介質(zhì)膜等薄膜。

主要技術(shù)參數(shù)

    1、濺射鍍膜室：由不銹鋼底與玻璃鐘罩組成；有效尺寸：Φ220×H230mm³；

    2、濺射鍍膜室本底真空：≤1Pa；濺射腔限真空：6×10^-1Pa；

    3、濺射靶：Φ50mm，濺射靶臺(tái)和濺射靶可調(diào)距離：20～60mm；

    4、基片加熱溫度可控范圍：室溫～300℃；

5、射頻源功率：500W，13.56MHz；

6、氣路系統(tǒng)：由兩路轉(zhuǎn)子流量計(jì)控制（可選配質(zhì)量流量計(jì)）；

    7、真空系統(tǒng)：2XZ-4型旋片真空泵，抽氣速率：4L/S，單相220V交流電源供電；

    8、對(duì)過(guò)流過(guò)壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施；

    9、供電電源：AC220V，50Hz，整機(jī)功率2KW。

射頻磁控濺射鍍膜裝置 型號(hào)：RT-RM-1

主要用途：本設(shè)備主要用于大專(zhuān)院校研究和開(kāi)發(fā)納米級(jí)單層膜；如各種硬質(zhì)膜、金屬膜；也可以是非金屬、化合物等薄膜材料。可以進(jìn)行直接濺射，亦可以實(shí)現(xiàn)反應(yīng)濺射。

主要特點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)捷、操作簡(jiǎn)便，真空度維護(hù)高，安全可靠。

鍍膜機(jī)應(yīng)安裝在干凈無(wú)塵埃、無(wú)腐蝕性氣體的室內(nèi)，并具備清潔水源、及220V的穩(wěn)定電壓等條件的地方。

1、地面的基本水平度要經(jīng)過(guò)調(diào)整，不得高低不平；

2、環(huán)境溫度：10℃～30℃；

3、相對(duì)濕度：不大于75%；

4、耗水量（進(jìn)水溫度≤25℃，2.5Kg≥水壓≥1.5Kg）：約0.2T/h；

5、水質(zhì)要求：

矽酸硬度<6度，PH值：7－8，電導(dǎo)率：200us/cm,沉積率：<200mg/L。

6、電壓： 220V，50H_Z，

電壓波動(dòng)范圍： 198～231V；

頻率波動(dòng)范圍：49～51Hz;

7、水壓：0.3～1Kg/cm²或0.03～0.1MPa/cm²;

8、充入氣體純度99.9%或以上;

9、鍍膜用耗材純度99.9%或以上。

設(shè)備規(guī)格參數(shù)

1.1、濺射處理室：

       1、鐘罩：內(nèi)徑225mm×高度260mm；

       2、試樣臺(tái)：直徑80mm（zui大）；

       3、試樣旋轉(zhuǎn)：靜止；

       4、擋板：手動(dòng)；

       5、襯底加熱器：不銹鋼加熱器（DC24V）；

       6、襯底溫度范圍：室溫～200℃；

       7、襯底可調(diào)距離：20mm～60mm；

       8、濺射室限真空：0.5Pa

1.2、真空系統(tǒng)：

       1、抽氣系統(tǒng)：由機(jī)械泵組成的一級(jí)真空系統(tǒng)；抽氣速率：4升/S

       2、真空檢測(cè)：電阻真空計(jì)、電阻規(guī)；

       3、常用真空度：1～20Pa

       4、操作：手動(dòng)

1.3、濺射電源：

1、射頻電源：頻率13.560MHZ,功率：500W，用表指示；

2、阻抗匹配器范圍：（2.7～45）Ω-j（0～70）Ω； 

3、供電：AC 220V；

4、冷卻方式：風(fēng)冷；

  1.4、 磁控靶：

1、靶材直徑：Ф50mm、 一個(gè)永磁靶；

2、靶材厚度：3～6mm；

1.5、進(jìn)氣系統(tǒng)：2路轉(zhuǎn)子流量計(jì)進(jìn)氣，

1.6、電源要求：AC 220V  50Hz  10A

1.7、氣體要求：氬氣--純度99.9%(樣品有特殊要求時(shí)使用高純)

1.8、冷卻要求：靶體水冷，濺射電源風(fēng)冷

1.9、體積重量：體積：L550mm×W680mm×H1480mm；約120kg

產(chǎn)品名稱(chēng)：基本型電解雙噴儀  產(chǎn)品型號(hào)：TJ100-BE

基本型電解雙噴儀  型號(hào)：TJ100-BE

TJ100－BE型電解雙噴儀是一款簡(jiǎn)單實(shí)用的基本型電解雙噴減薄設(shè)備。采購(gòu)磁子驅(qū)動(dòng)電解液涌流進(jìn)行噴射拋光，拋光電壓、破孔感光值、泵流速度旋扭可調(diào)，具有穿孔自動(dòng)報(bào)警功能。能夠使用少量電解液，液氮冷卻方式，簡(jiǎn)單快速方便地進(jìn)行金屬的電鏡樣品制備。 

產(chǎn)品性能特點(diǎn): 
　 加液氮制冷方式，控制盒與電解槽分開(kāi)控制，拋光破孔自動(dòng)報(bào)警 
　拋光電壓、電流值液晶數(shù)字顯示 
　拋光電壓、破孔感光值及泵流速度旋鈕可調(diào) 
　磁力涌流式噴射拋光，進(jìn)口PVC材料整體成型加工，無(wú)泄漏風(fēng)險(xiǎn) 
　直流無(wú)刷驅(qū)動(dòng)電機(jī)封閉隔離式設(shè)計(jì)，電機(jī)使用壽命長(zhǎng)，穩(wěn)定性好 
　電解電壓范圍:0-110V，電解電流:0-2A