目錄:天津市拓普儀器有限公司>>物理教學(xué)儀器>>工程光學(xué)>> TPY-2型自動(dòng)橢圓偏振測厚儀
產(chǎn)品詳細(xì)資料
| 測量范圍 | 薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1-10 | 偏振器方位角范圍 | 0°-180°讀取分辨率為0.05° |
| 入射光波長 | 632.8nm | 偏振器步進(jìn)角 | 0.014°/步 |
| 入射角調(diào)節(jié)范圍 | 20°- 90°精度≤0.05° | 測量膜厚 | ±0.5nm |
| 光學(xué)中心高 | 80mm | 折射率重復(fù)性精度 | ±0.05 |
| 測量厚度zui小示值 | ≤1nm | 儀器測量精度 | ±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時(shí)） |
| 允許樣品尺寸 | φ10-φ140mm，厚度≤15mm | 外形尺寸 | 580×390×320（mm） |
| 度盤刻度 | 每格1度 | 主機(jī)重量 | 28kg |
TPY-2實(shí)驗(yàn)主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、二氧化硅膜樣片、配套軟件
* 計(jì)算機(jī)及打印機(jī)（需另配）
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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