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RAITH-EBPG5150 電子束直寫系統 EBPG5150

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 RAITH-EBPG5150
  • 產地 德國
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2024/9/25 15:40:40
  • 訪問次數 1838

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公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經驗豐富的專業技術團隊,專業服務于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據客戶的實際生產需求制訂可行的工藝技術方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設備和專業的技術服務打下了堅實基礎。

 

半導體設備,微組裝設備,LTCC設備,化工檢測設備

產地類別 進口 價格區間 150萬-200萬
應用領域 電子

專業電子束曝光系統

電子束直寫系統  EBPG5150

自動化和高速度的電子束直寫技術

電子束直寫系統EBPG5150使用了155mm大小的樣品臺,采用跟電子束曝光機EBPG5200一樣的通用光刻平臺設計,對電子束直寫應用進行了優化。它可以載入不同大小的樣品,包括多片散片以及完整的硅片。 

 

 

Improved Specifications

  • Ultra-fast, low-noise pattern generator 125 MHz
  • Extreme beam current up to 350 nA
  • Excellent direct write performance with overlay accuracy of ≤ 5nm

 

  • 高束流密度,熱場發射電子槍可以在2050100kV之間切換
  • 155mm的平臺
  • 小曝光特征尺寸小于8nm
  • 高速度曝光,可采用50100MHz的圖形發生器
  • 在所有KVs加速電壓下,可連續改變的寫場大小,大可以到1mm
  • GUI人機交互界面友好,簡潔易用,適用于多用戶環境
  • 多項靈活可選擇的配置,可以適用于不同應用的需求

可選的系統增強升級

EBPG5150可以選擇不同的升級選項,以滿足用戶不同的技術和預算需求。讓*的高校等研究類用戶也可以使用這款非常先進、高自動化的電子束光刻系統。

 

電子束直寫系統EBPG5150 應用

  • 電子束曝光用于制作GaAs T型器件

 

  • 微盤諧振器

 

  • 開口環諧振器

電子束直寫系統EBPG5150 產品詳情

主要應用:

  • 100KV高加速電壓可用于曝光高深寬比納米結構
  • 高速電子束直寫
  • 批量生產,如化合物半導體器件
  • 防偽標識

電子光學柱技術:

  • EBPG
  • 電子束
  • 100 kV

樣品臺:

  • 覆蓋完整6英寸硅片大小
  • 標配2工位自動化上料
    (10工位可選)

 

 



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