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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
奧林巴斯MX51工業(yè)檢測(cè)顯微鏡是一款高性價(jià)比的顯微鏡，適用于各種電子元件、晶圓和大型樣本的觀察需求。
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考慮了檢查效率的設(shè)計(jì)
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鮮明圖像和的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系
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軟件方案
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幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察方法的附件
考慮了檢查效率的設(shè)計(jì)
高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置
內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄
MX51主要操作部件集中在前面，操作人員易于操作，即使長(zhǎng)時(shí)間操作也不會(huì)感到疲勞。150mm載物臺(tái)內(nèi)置離合器，可實(shí)現(xiàn)輕松移動(dòng)。
快速切換物鏡，提高檢查速度
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器示意圖 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時(shí)間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉(zhuǎn)換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機(jī)，在切換倍率時(shí)也不會(huì)由視場(chǎng)中心附近偏離。
鮮明圖像和的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系
多種選擇可實(shí)現(xiàn)的成像性能
UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產(chǎn)品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來的高品質(zhì)，忠實(shí)于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數(shù)碼影像觀察中都能發(fā)揮它的性能。
觀察影像實(shí)例
明視場(chǎng)觀察
暗視場(chǎng)觀察
微分干涉觀察
熒光觀察
| MX51工業(yè)檢測(cè)顯微鏡豐富的產(chǎn)品陣容，可按需選擇 | |
| MPLAPON | 平場(chǎng)復(fù)消色差透鏡 |
| MPLFLN | 平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡 |
| MPLFLN-BD | 明暗視場(chǎng)用平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡 |
| MPLFLN-BDP | 反射偏振光用平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡 |
| LMPLFLN | 長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡 |
| LMPLFLN-BD | 明暗視場(chǎng)用長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡 |
| MPLN | 平場(chǎng)消色差透鏡 |
| MPLN-BD | 明暗視場(chǎng)用平場(chǎng)消色差透鏡 |
| SLMPLN | 超長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差透鏡 |
| LCPLFLN-LCD | 液晶長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)半復(fù)消色差透鏡 |
軟件方案
使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像
三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機(jī)。可以保存和記錄數(shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報(bào)告。可根據(jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機(jī)。
幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察方法的附件
近紅外線觀察單元
由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，備有各種對(duì)應(yīng)近紅外線觀察的單元。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。
近紅外線觀察單元
近紅外線觀察
熒光觀察單元
在滑桿上追加鏡子裝置可以對(duì)應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵(lì)的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠。
熒光鏡單元
熒光觀察
透射照明單元
透射照明單元
對(duì)應(yīng)光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實(shí)現(xiàn)了透射簡(jiǎn)易偏振光觀察。有通用的A型號(hào)和高NA（數(shù)值孔徑）的B型號(hào)兩種型號(hào)。
| MX51 規(guī)格 | |||
| 光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正） | ||
| 機(jī)身 | 觀察方法 | 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光 | |
| 反射/透射 | 反射/透射 | ||
| 照明裝置 | 明暗視場(chǎng)反射照明管（明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光） | ||
| 通用反射照明管（明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光） | |||
| 照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
| 透射照明 | 纖維光導(dǎo) | ||
| 對(duì)焦單元 | 電動(dòng)/手動(dòng) | 手動(dòng) | |
| 行程 | 32 mm | ||
| 分辨率/微調(diào)靈敏度 | 微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm | ||
| zui大樣本高度 | 30 mm | ||
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動(dòng)型 | 明視場(chǎng)微分干涉6孔 | |
| 明暗視場(chǎng)微分干涉5孔 | |||
| 明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔 | |||
| 明暗視場(chǎng)微分干涉6孔 | |||
| 手動(dòng)式 | 明視場(chǎng)5孔 | ||
| 明視場(chǎng)微分干涉6孔 | |||
| 明視場(chǎng)微分干涉中心輸出6孔 | |||
| 明視場(chǎng)微分干涉7孔 | |||
| 明暗視場(chǎng)5孔 | |||
| 明暗視場(chǎng)微分干涉5孔 | |||
| 明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5孔 | |||
| 明暗視場(chǎng)微分干涉6孔 | |||
| 載物臺(tái) | 行程 | 6×6英寸右下手柄： | |
| 4×4英寸右下（左下）手柄： | |||
| 觀察筒 | 廣角視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)22） | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 |
| 正像 | 三目觀察筒 | ||
| 超寬視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)26.5） | 倒置 | 三目觀察筒 | |
| 正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
| 附件單元 | IR單元/自動(dòng)裝載 | ||
| 外形尺寸 | 430（W）×591（D）×495（H）mm（標(biāo)準(zhǔn)組合） | ||
| 重量 | 26 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合） | ||
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