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選用真空泵時,需要注意下列事項:
1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數(shù)量級。
2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強而變化,其穩(wěn)定的工作壓強范圍為510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應小于110-5mmHg為好。
3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。
7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
9、真空泵的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用。
水環(huán)式真空泵的選擇
一、泵類型的確定
泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。
泵工作時,需要注意以下兩個方面: 盡可能要求在區(qū)內(nèi),也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運行。應避免在大真空度或大排氣壓力附近運行。在此區(qū)域內(nèi)運行,不僅效率極低,而且工作很不穩(wěn)定,易產(chǎn)生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言,在此區(qū)域之內(nèi)運行,往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象,產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標志是泵內(nèi)有噪音和振動。汽蝕會導致泵體、葉輪等零件的損壞,以致泵無法工作。
根據(jù)以上原則,當泵所需的真空度或氣體壓力不高時,可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,單級泵往往不能滿足,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機組作為抽真空裝置。
二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵
初步選定了泵的類型之后,對于真空泵,還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號。關于真空泵的抽速選擇及抽氣時間計算可參照我公司網(wǎng)頁真空計算公式。
面對各種型式的水環(huán)式真空泵及壓縮機,我們特將其各自特點收集如下,以利于用戶選型 :
真空泵一覽表
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真空表讀數(shù)與真空度(Pa)該如何換算?
我們經(jīng)常接到電話,一些用戶詢問,真空表讀數(shù)所反映的究竟是多少Pa。能不能用直觀的數(shù)字來顯示?
(1) 真空表上 “0”表示正一個大氣壓, “-0.1”表示真空。真空表上的指示值不表示真空度的值,只表示了真空度的相對值。
真空度的換算; 根據(jù)本表的刻度示值范圍,真空度的值與相對值可用下式換算:
P=1×105(1-δ/0.1) P - 真空度的值(Pa)
δ- 真空表的刻度示值值
例一:表的示值為O,則P=1×105(1-O/0.1)=1×105 Pa = 1個大氣壓
例二:表的示值為0.1,則P=1×105(1-0.1/0.1)= 0 Pa為真空。
(真空是不存在的)
例三:表的示值為0.08,則P=1×105(1-0.08/0.1)= 2×104 Pa
本產(chǎn)品的真空度指標值為<267Pa,表示本產(chǎn)品在267Pa(表面示值約為0.0997,接近于-0.1)時的低真空度狀態(tài)下仍能保證正常工作。產(chǎn)品的真空度主要取決于配套真空泵的性能。
真空度計量單位換算如下:
0.1Mpa =1×105 Pa = 760mmHg = 1個大氣壓
1乇 = 1mmHg = 133.33Pa
2乇 = 0.00026666Mpa ≈267Pa
(2) 真空表讀數(shù)可以用直觀的數(shù)字來顯示。但價格比較昂貴,一般適用于科研單位。
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