天津X熒光電鍍層測厚儀

技術(shù)參數(shù)

分析元素范圍：硫（S）- 鈾（U） 

同時(shí)檢測元素：多24種，多達(dá)5層鍍層，根據(jù)客戶的需求進(jìn)行配置 

檢出限：可達(dá)2ppm，薄可測0.005μm

分析含量：2ppm-99.9%

鍍層厚度：50μm以內(nèi)（每種材料有所不同） 

重復(fù)性：可達(dá)0.1%

穩(wěn)定性：可達(dá)0.1%

SDD探測器：分辨率低至135eV

采用良好的微孔準(zhǔn)直技術(shù)，小孔徑達(dá)0.1mm，對(duì)微小產(chǎn)品測試更準(zhǔn)確

小光斑可達(dá)0.1mm

樣品觀察：配備全景和局部兩個(gè)工業(yè)高清攝像頭 

準(zhǔn)直器：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與Ф0.3mm

四種準(zhǔn)直器組合 

儀器尺寸：690（W）×575（D）×660（H）mm

樣品室尺寸：520（W）×395（D）×150（H）mm

樣品臺(tái)尺寸：393（W）×258（D）mm

X/Y/Z平臺(tái)移動(dòng)速度：額定速度200mm/s速度333.3mm/s

X/Y/Z平臺(tái)重復(fù)定位精度：小于0.1μm

操作環(huán)境濕度：≤90%

操作環(huán)境溫度：15℃-30℃ 

性能優(yōu)勢(shì)

精密的三維移動(dòng)平臺(tái)，測試不同規(guī)格產(chǎn)品更有優(yōu)勢(shì)

的樣品觀測系統(tǒng)，測試過程清晰觀測

良好的圖像識(shí)別 

輕松實(shí)現(xiàn)深槽樣品的檢測 

四種微孔聚焦準(zhǔn)直器，自動(dòng)切換 

雙重保護(hù)措施，實(shí)現(xiàn)無縫防撞 

采用大面積高分辨率探測器，有效降低檢出限，提高測試精度 

全自動(dòng)智能控制方式，一鍵式操作 ，對(duì)操作人員要求不高

開機(jī)自動(dòng)退出自檢、復(fù)位 ，不再人工檢測

開蓋自動(dòng)退出樣品臺(tái)，升起Z軸測試平臺(tái)，方便放樣 

關(guān)蓋推進(jìn)樣品臺(tái)，下降Z軸測試平臺(tái)并自動(dòng)完成對(duì)焦 

直接點(diǎn)擊全景或局部景圖像選取測試點(diǎn) 

點(diǎn)擊軟件界面測試按鈕，自動(dòng)完成測試并顯示測試結(jié)果 

應(yīng)用領(lǐng)域

X熒光電鍍層測厚儀產(chǎn)品廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體材料、電子元器件、汽車部件、五金工具、線路板、首飾、端子、鋁合金電鍍等企業(yè)中，在天津設(shè)有售后服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)，方便周期企業(yè)的維護(hù)，大大降低了客戶的后期使用成本。