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測量范圍 | 電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴展); 方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴展); 電導率:0.005~1000 s/cm; 電阻:0.001~200Ω.cm; |
可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺); 200mmX200mm(配S-2B型測試臺); 400mmX500mm(配S-2C型測試臺); |
恒源 | 電量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電連續可調 |
數字電壓表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 輸入阻抗:>1000MΩ; 度:±0.1% ; 顯示:四位半紅色發光管數字顯示;性、量程自動顯示; |
四探針探頭基本標 | 間距:1±0.01mm; 針間緣電阻:≥1000MΩ; 機械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力); |
四探針探頭應用參數 | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87行) | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整機測量zui大相對誤差 | (用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
整機測量標準不確定度 | ≤5% |
計算機通訊接口 | 并口 |
標準使用環境 | 溫度:23±2℃; 相對濕度:≤65%; 無頻干擾; 無強光直射; |
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