高溫爐部分 | - 爐體設計為開啟式，以便于更換爐管
- 工作電源：208 - 240 VAC, 50/60Hz
- zui大功率為：2KW
- zui高工作溫度：1200℃（<1hr)
- 連續(xù)工作溫度：1100℃
- 加熱區(qū)長度：200mm
- 恒溫區(qū)長度：60mm(+/-1℃ @ 1000 ℃ )
- 爐管：高純石英管，尺寸50mm O.D x 44mm I.D x 450mm L)（點擊圖片查看詳細資料）
 
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溫度控制系統(tǒng) | - 采用PID30段程序化控溫，其控溫精度為+/-1℃
- 控溫儀表操作視頻
- 設有過熱和斷偶保護
- 熱電偶采用K型熱電偶
 
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真空密封 | - 采用KF結構密封法蘭，硅膠密封圈密封
- 法蘭上安裝有一機械壓力表
- 左端法蘭與一個真空不銹鋼波紋管連接（不銹鋼波紋管zui大伸縮幅度為150mm)
- 真空度：10-2Torr(用機械泵抽） 10-5Torr(用分子泵抽）
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坩堝移動機構&PLC控制 | - 一個直徑為1/4＂的歐米伽鎧裝熱電偶（K型），通過法蘭伸入到爐管中，并可隨坩堝移動，可實時監(jiān)測樣品的實際溫度。
- 通過步進電機移動爐管內的坩堝（樣品臺），zui大行程為100mm，移動精度為1mm
- 通過觸摸屏設定坩堝一定的距離和目標位置，坩堝移動速度為180mm/min(更精確的移動速度，可與本公司定制，需額外收費）
- 可觀察下圖，了解坩堝與熱電偶的安裝方法
 
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zui大加熱速率和冷卻速率 | 可通過移動樣品到已預加熱的爐體中來得到zui大的加熱速率，也可將樣品迅速移除高溫的爐體，來得到zui大的降溫速率 zui大加熱速率 10℃/sec (150℃ - 250℃);
7℃/sec (250℃ - 350℃);
4℃/sec (350℃ - 500℃);
3℃/sec (500℃ - 550℃);
2℃/sec (550℃ - 650℃);
1℃/sec (650℃ - 800℃);
0.5℃/sec (800℃ - 1000℃); | zui大降溫速率 10℃/sec (950℃ - 900℃);
7℃/sec (900℃ - 850℃);
4℃/sec (850℃ - 750℃);
2℃/sec (750℃ - 600℃);
1.5℃/sec (600℃ - 500℃);
1℃/sec (500℃ - 400℃);
0.5℃/sec (400℃ - 300℃); | 
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可選配件 | - 可選購手動擋板閥（圖1）
- 防腐型數(shù)顯真空計（圖4）
- 快速連接法蘭，以方便于放置樣品（圖2）
- 多路質量流量計控制的混氣系統(tǒng)，用于CVD和DVD實驗（圖5）
    
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尺寸 |  |
質保 | 一年質保期，終生維護（不含加熱元件、爐管和密封圈） |
質量認證 | - CE認證
- 所有電器元件（>24V）都通過UL / MET / CSA認證
- 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
     
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注意事項 | - 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
- 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
- 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)
- 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
- 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
- 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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應用 | - 此款設備可用于多種實驗，以下列出了幾種實驗方法
- RTE（快速熱蒸發(fā)）：蒸發(fā)料放在坩堝中，放入到爐體中心，基片放在樣品臺上，樣品臺與熱電偶相連接，然后將樣品臺移動到理想的位置（此位置溫度是實驗所需要的溫度）
- HPCVD（混合物理化學沉積）：與RTE相似，但需配混氣系統(tǒng)，對反應氣體混合并控制流量，同時也需設定蒸發(fā)料的位置（確定蒸發(fā)料的蒸發(fā)溫度）
- 水平布里奇曼（Bridgman）法來長晶體：將樣品和籽晶放入到坩堝中，并將坩堝放入到爐體中心位置，然后設定坩堝移動速度，慢慢移動坩堝
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