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P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，將P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的HRP®-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合。 這...

自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀P17。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力2D和3D測量，掃描可達(dá)200mm無需圖像拼接。結(jié)合UltraLite®...

P-7晶圓探針式輪廓儀/臺階儀保持了P-17技術(shù)的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了好的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D...

KLA先進(jìn)的探針式臺階儀Alpha-Step D-600，帶有電動載物臺。可測量納米級至1200um臺階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5....