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海德創業（北京）生物科技有限公司

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EMS300TD-雙濺射頭大腔室分子泵離子濺射鍍膜儀

  • 發布日期：
  • 有效日期：
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  • 產　　地：
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  • 2024年8月30日
  • 2025年2月28日
  • 北京北京市
  • 美國
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【產品簡介】

EMS300TD的腔室直徑達到300mm，高度127mm；雙頭設計，可連續濺射2種不同的金屬；全自動控制、渦輪分子泵，適合于薄膜應用和SEM樣本導電鍍膜之需要


【詳細說明】

EMS300TD雙濺射頭大腔室分子泵離子濺射鍍膜儀
 
EMS300TD的腔室直徑達到300mm，高度127mm；雙頭設計，可連續濺射2種不同的金屬；全自動控制、渦輪分子泵，適合于薄膜應用和SEM樣本導電鍍膜之需要。

  • 全自動觸摸屏控制，快速數字輸入，操作簡便
  • 雙濺射頭—可按照順序濺射兩種不同的金屬
  • 用戶自定義鍍膜方案
  • 靶材可選易氧化和不易氧化金屬
  • 優秀的鍍膜顆粒適用于更的FE-SEM應用
  • 大腔室（可選購加高腔室）
  • 鍍膜日志-記錄zui后100條鍍膜參數
  • 雙通道膜厚監測可選
  • 高真空渦輪分子泵
  • 自動真空控制
  • 真空閉鎖功能
  • 60分鐘濺射不間斷濺射
  • 人體工程學設計的整體成型機殼：易維護和易拆裝
  • 帶有本地FTP服務器連接的以太網端口：簡單的程序更新
  • 設有功率因素補償，有效利用電能，降低運行成本
  • 符合當前電器法規（CE認證）
  • 3年質保
· 工作腔室：283mm（內徑）*127mm（高）硼硅酸鹽玻璃腔室，并帶整體安全防護罩
· 觸摸屏用戶界面：145 mm x 320 mm x 240 mm，帶有觸摸按鈕的全圖像界面，包含多達一百個鍍膜程序，可提醒何時需要維護
· 樣品臺：水平旋轉直徑102mm圓片
· 真空系統：皮拉尼真空計作為標配（全量程真空計可以選購），極限真空可達10-5mbar
· 渦輪分子泵：帶有內部空氣冷卻的渦輪分子泵，抽速為70L/s
· 旋轉機械泵：抽速為50L/m的兩級旋轉機械泵
· 工藝參數：
· 濺射：0-80mA。可預設膜厚（需FTM選項）或使用內置定時器。
· 氣體：濺射工作氣體氬氣，99.999%；氮氣，放氣破真空氣體（可選）
· 電源需求：90-250V~50/60Hz 1400VA 包括旋轉機械泵；尺寸：儀器機箱585mm寬*470mm*410mm高（總高710mm）
· 儀器總重量：36.6KG
· 濺射靶材和碳耗材供應：直徑57 mm Ø x 0.3 mm的鉻靶（Cr）和57 mm Ø x 0.1 mm的金靶（Au）作為標配。
貨號
產品名稱
規格
EMS300T D
Dual-Head, Large-Chamber-Turbo-Pumped Sputter Coater, supplied with 1 x 57 mm Ø x 0.3 mm chromium （Cr） and 1 x 57 mm Ø x 0.1 mm thick gold （Au） target. A flat rotation stage for 6” （152 mm） wafers is included.離子濺射鍍膜儀
EACH

    
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