邁可諾技術有限公司
主營產品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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更新時間:2024-05-17 14:24:10瀏覽次數:3091
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技術數據
2.6 升的 Low Cost 等離子體實驗室設備 ZEPTO 配有手動型 和 Basic PC 控制系統,主要用于以下領域:
小批量生產, 分析 (REM, TEM), 醫療技術, 滅菌, 研究和開發部門, 考古, 紡織技術, 塑料技術
1.基本裝備:
根據組件/選裝件,外殼規格會有所不同
腔室容積:根據具體版本 1.7 - 2.6 升
供電電源:230 V
2.氣體供給:針型閥、質量流量控制器 (MFC)
3.真空腔室
帶蓋圓形硼硅玻璃 (UHP)(大約 ∅ 105 mm,長 200 mm 或長 300 mm)
W6(約 ∅ 160 mm,長 180mm)
4.裝載件
產品支架:鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃
5.電極:
單層或多層
真空腔室外部的一對電極
6.控制系統:手動、Basic PC 控制系統 (Microsoft Windows CE)
7.壓力測量:Pirani
8.計時器:數字 、模擬
9.發生器:
頻率:
40 kHz:功率 0 - 100 W
13.56 MHz:功率 0 - 200 W