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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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| 參考價 | 面議 |
更新時間：2024-05-17 10:37:10瀏覽次數(shù)：1292
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,冶金 |
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UNIXX系列單面烘烤加熱臺
可處理基片達200 mm / 8英寸
半自動單面烘烤系統(tǒng)
設(shè)計用于：軟烘（預(yù)烤）；硬烘
HMDS（六甲基二硅氮烷）的選配：蒸氣起泡，真空干燥
UNIXX系列單面烘烤加熱臺，HT20e設(shè)計用于基材的單面烘烤，用于預(yù)烘烤和后烘烤或脫水烘烤過程。尤其適用于粘合劑底漆（HMDS;六甲基二硅氮烷），可用于蒸汽底漆或真空干燥的熱板模塊。帶有電子可編程升降針的烘烤模塊，配有觸摸屏，便于操作。 軟件提供了簡單方便的過程控制和配方創(chuàng)建。 界面簡單易于使用，可隨時控制流程。這些溫度模塊有臺式安裝式，塔式安裝式或獨立式供選擇。
設(shè)計用于以下應(yīng)用：旋涂或噴涂，顯影，烘焙和冷卻以及EBR
特點：
溫度模塊（電動）
加熱板系統(tǒng)帶有電動升降頂針
加熱板模塊（Z高300°C）
電子驅(qū)動的升降針
標(biāo)準(zhǔn)的頂針由不銹鋼和PEEK制成（Z高250°C）
升降針，可編程（根據(jù)不同停止的速度和步長）
加熱板表面上的真空管路用于固定基板
手動控制加熱板的頂蓋
集成式排氣
半自動控制器單元：
7英寸彩色觸摸屏
配方編輯器來編寫，管理和配置
實際可視化效果監(jiān)控
用于配方，流程，日志文件的庫功能（例如，錯誤跟蹤歷史記錄）
具有密碼保護服務(wù)訪問權(quán)限的用戶管理
通過USB或Intranet連接進行更新和備份功能
產(chǎn)品參數(shù)：
基板尺寸：大直徑200毫米（直徑8英寸）圓片或200x 200毫米（8 x8英寸）方片；
溫度范圍：Z高300°C *，以1°C/步可調(diào)；
溫度精度：在100°C時<士1°C；
升降針(1套）：直徑50 mm（直徑2英寸）到直徑200 mm（直徑8英寸）或200x 200mm（8 x8英寸）；
加熱臺表面：由硬質(zhì)陽極氧化鋁制成；
加熱臺頂蓋：由微拋光不銹鋼制成；
加熱臺外殼：由PP制成；
控制器單元：7寸觸摸屏；
電壓：230（110）VAC / 1Ph / N / PE / 50（60）赫茲；
CDA：8 bar，管外徑6 mm；
真空：-0.8 bar / -600bar，管外徑6 mm；
排氣爐：1 x 外徑 40毫米，80立方米/小時；
氮氣（可選）：4土2bar，管外徑6 mm；
