邁可諾技術有限公司
主營產品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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參考價 | 面議 |
更新時間:2024-05-17 09:27:39瀏覽次數:3584
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產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子 |
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美國臨界點干燥儀Automegasamdri®-915B,系列B
特點:
6”圓晶MEMS釋放后的超臨界點干燥儀;
潔凈室和防靜電兼容設計;
通過微處理控制器來保證自動處理過程的進行及結果的可重復性;
所有內表面均適用于液態二氧化碳、高純乙醇和丙酮;
可重復設定的操作參數確保了結果的可重復性;
每個操作模式LED顯示,一目了然;
集成自動控溫;
內置圓盤裂片保證安全;
可以一次干燥5片直徑為6”的圓晶,更換樣品架,也可以一次干燥5片直徑4”、3”、2”的圓晶或5片邊長為10mm的方晶(提供HF兼容的樣品架);
靜態壓力控制模塊,自動控制系統壓力和保持壓力穩定性;
0.4μm內部過濾器系統輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室;
內腔有照明燈,樣品室蓋子帶觀察窗,便于觀察樣品室內部狀態;
擁有高效隔熱的冷卻系統,使系統能夠迅速從室溫降到將近0°C;
標配SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
樣品室填塊可以調整樣品室內徑到4”、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和處理時間;
所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準;
美國臨界點干燥儀規格:
外部尺寸:寬14.25” (36.2 cm) × 高11.75” (29.8 cm) × 長25.0” (63.5cm);
占地尺寸:寬42” (107 cm) × 深30” (76 cm);
樣品室尺寸:內徑6.50” × 深1.25”,樣品室容積:679 ml;
溫度范圍:- 30 ℃ 至 60 ℃,壓力范圍:0 - 2000 psi;
LCO2的流速是通過帶游標卡尺的微型微型計量閥門來控制;
120V/50-60HZ(可選其他電壓);
標準配件:
高壓不銹鋼LCO2管(內襯Teflon) 3 米長;
外部LCO2過濾裝置,去除水/油以及顆粒(小至0.5μm),過濾裝置可預先與LCO2管連接,安裝方便;
SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳,降低排氣噪音;
防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣;
內部的不銹鋼過濾系統和鍍鎳的過濾系統共同保護線路、晶片和閥門
樣品室O型圈3個,樣品室照明燈2個,5A保險絲2個;
4個Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括6”、4、3、2和1.25英寸;
直徑為6、4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容;
流量計,可準確控制BLEED的排氣速率;
用戶手冊;
所有部件一年質保。