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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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更新時(shí)間：2024-05-17 09:09:26瀏覽次數(shù)：1402
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
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光譜橢偏儀顯微分光光度計(jì)
型號(hào)：SE-MSP
可通過(guò)橢圓偏振光度法在超薄膜上工作，并且還具有通過(guò)微反射法與橢圓度計(jì)和微分光光度計(jì)相結(jié)合的*配置的小面積微反射法。TFProbe 3.3版本軟件將處理測(cè)量和分析。
對(duì)于某些應(yīng)用（例如MEMS或半導(dǎo)體產(chǎn)品晶圓上的功能），希望有一個(gè)小的探測(cè)點(diǎn)。將顯微分光光度計(jì)與橢圓偏振光度計(jì)集成在一起后，工具的功能將大大擴(kuò)展。SE-MSP型是為此目的而設(shè)計(jì)的。MSP在反射法模式下工作，并以法向入射角進(jìn)行測(cè)量，這是對(duì)非法向入射角SE設(shè)置的補(bǔ)充。SE和MSP的波長(zhǎng)范圍可以根據(jù)應(yīng)用需求進(jìn)行不同配置。所有選項(xiàng)都是可選的。
應(yīng)用范圍：
•半導(dǎo)體制造（PR，氧化物，氮化物..）
•液晶顯示器（ITO，PR，液晶盒間隙…..）
•法醫(yī)，生物膜和材料
•油墨，礦物學(xué)，顏料，碳粉
•藥品，醫(yī)療器械
•光學(xué)涂料，TiO2，SiO2，Ta2O5…..
•半導(dǎo)體化合物
•MEMS / MOEMS中的功能膜
•非晶，納米和晶體硅
特征：
•易于使用，基于Window的軟件進(jìn)行操作
•*光學(xué)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)*系統(tǒng)性能
•使用SExxxBA選項(xiàng)以0.001度的分辨率自動(dòng)更改入射角
•高功率光源，適用于寬帶應(yīng)用
•基于陣列的探測(cè)器系統(tǒng)可確保快速測(cè)量
•測(cè)量多層膜的厚度和折射率，允許用戶設(shè)計(jì)無(wú)限層的模型
•系統(tǒng)附帶全面的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)
••TFProbe 3.3軟件允許用戶為每膜使用NK表，色散或有效介質(zhì)近似值（EMA）
•三種不同的用戶級(jí)別控制：工程師模式，系統(tǒng)服務(wù)模式和簡(jiǎn)易用戶模式
•靈活的工程師模式，適用于各種配方設(shè)置和光學(xué)模型測(cè)試
•強(qiáng)大的一鍵式按鈕解決方案，可進(jìn)行快速和常規(guī)的測(cè)量
•可配置的測(cè)量參數(shù)，操作簡(jiǎn)便
•全自動(dòng)系統(tǒng)校準(zhǔn)和初始化
•直接從樣品信號(hào)獲得精確的樣品比對(duì)接口，無(wú)需外部光學(xué)器件
•精確的高度和傾斜度調(diào)整
•適用于許多不同類型，厚度不同的基材
•各種選件，附件可用于特殊配置，例如測(cè)繪臺(tái)，波長(zhǎng)擴(kuò)展，焦點(diǎn)等
•2D和3D輸出圖形和用戶友好的數(shù)據(jù)管理界面
••用于微米區(qū)域選擇的數(shù)字成像工具
•集成反射計(jì)，用于小范圍內(nèi)的反射測(cè)量
系統(tǒng)配置：
探測(cè)器：探測(cè)器陣列
波長(zhǎng)范圍可配置為190至1700nm
光源：基于SE和MSP的波長(zhǎng)范圍
入射角更改：自動(dòng)，帶有程序設(shè)置
階段：手動(dòng)或自動(dòng)映射階段
軟件：TFProbe 3.3
SE和MSP結(jié)合
電腦：Intel i3處理器
顯示器：22英寸寬屏液晶
電源：通用110– 240 VAC / 50-60Hz，6 A
