電鏡用鍍膜儀通過(guò)連續(xù)監(jiān)控在線生產(chǎn)來(lái)保證鍍膜產(chǎn)品的優(yōu)良性,提高車(chē)間生產(chǎn)線上的工作效率。鍍膜儀的種類(lèi)多樣主要分為:蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備系列、離子真空鍍膜儀系列、磁控濺射真空鍍膜設(shè)備。由于真空鍍膜儀的應(yīng)用非常的廣泛,目前已經(jīng)滲透到車(chē)輛、土木建筑工程、機(jī)械、包裝、環(huán)境保護(hù)、醫(yī)藥及醫(yī)療器械、石油、化工、食品、光學(xué)、電氣、電子、原子能、半導(dǎo)體、低溫、專(zhuān)用機(jī)械、紡織、造紙、農(nóng)業(yè)以及民用工業(yè)等工業(yè)部門(mén)和科學(xué)研究工作中。
電鏡用鍍膜儀的應(yīng)用是很復(fù)雜的,用戶(hù)需求掌握必定的操作常識(shí),我們來(lái)一起學(xué)習(xí)一下:
一、電控柜操作
1.開(kāi)水泵、氣源;
2.開(kāi)總電源;
3.開(kāi)保持泵、真空計(jì)電源,真空計(jì)檔方位,等待其值小于10后,再進(jìn)入下一步操作,約需5分鐘;
4.開(kāi)機(jī)械泵、予抽,開(kāi)渦輪分子泵電源、發(fā)動(dòng),真空計(jì)開(kāi)關(guān)換到V2方位,抽到小于2停止,約需20分鐘;
5.調(diào)查渦輪分子泵讀數(shù)抵達(dá)250后,關(guān)抽開(kāi)前機(jī)和高閥持續(xù)抽真空,抽真空抵達(dá)必定程度后才能開(kāi)右邊的高真空表頭,調(diào)查真空度。真空抵達(dá)2×10-3后才能開(kāi)電子槍電源。
二、電鏡用鍍膜儀的開(kāi)機(jī)操作
1.開(kāi)總電源;
2.一起開(kāi)電子槍操控Ⅰ和電子槍操控Ⅱ電源:按電子槍操控Ⅰ電源、延時(shí)開(kāi)關(guān),延時(shí)、電源及維護(hù)燈亮,三分鐘后延時(shí)及維護(hù)燈滅,若后門(mén)未關(guān)好或水流繼電器有毛病,維護(hù)燈會(huì)常亮;
3.開(kāi)高壓,高壓會(huì)到達(dá)10KV以上,調(diào)理束流可到200mA擺布,簾柵為20V/100mA,燈絲電流1.2A,偏轉(zhuǎn)電流在1-1.7之間搖擺。
三、電鏡用鍍膜儀的關(guān)機(jī)操作
1.關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵;
2.待分子泵顯現(xiàn)到50時(shí),順次關(guān)高閥、前級(jí)、機(jī)械泵,此時(shí)段約需40分鐘;
3.到50以下時(shí),再關(guān)保持泵。