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這款進口spin coater是高精度勻膠儀,勻膠臺,甩膠儀,涂膠儀,旋涂儀,結構緊湊,具有良好的功能,可安裝到手套箱中使用。適合150mm晶圓和5英寸×5英寸(127mm×127mm)基板使用,最大轉速為12000RPM(基于100mm硅片).
進口spin coater包括一款無線平板電腦,該平板電腦采用Laurell Touch過程控制軟件。通過使用其附帶的PC軟件Spin 3000,它在過程定義和使用方面實現了靈活性。該無線控制器允許操作員在流程執行期間從實驗室的任何位置進行實時交互,包括暫停時間、停止和從該點繼續。該系統可以并且將在現場通過可下載的固件版本輕松快速地持續更新。
進口spin coaterPC的使用增加了記錄進程運行、遠程操作、編程或跨局域網或互聯網通信的能力。該軟件免費提供,允許操作員在實際安裝的spin coater硬件之外創建虛擬流程模擬,實際上,讓他們在提交流程之前嘗試。所有進口spin coater都可以通過簡單的插件模塊(無論是實際的還是虛擬的)升級或重新設計,無需返回工廠,并且可以包含幾乎無限數量的過程和步驟。
進口spin coater的外殼通常由Laurell Technologies專有的固體共聚共混物制成。與天然聚丙烯不同,這種材料能夠抵抗溶劑和強酸強堿。樣品可根據要求進行測試和驗證。可提供固體PTFE Hostaflon®TFM-1600/Teflon®AF外殼(適用于高溫化學和亞微米顆粒研究)。
進口spin coater閉式碗設計,加上過程控制器的精度,允許大多數涂層材料在靜態狀態下干燥,提高均勻性并將顆粒污染降至低。上部增壓室在底座內部關閉,以提供重疊密封,蓋子內部有一個特殊的排水溝,用于將流體引導至系統后部,防止化學品意外滴到基材上。
進口spin coater專有的迷宮密封保護電機和控制電子設備免受化學污染。該密封為工藝室提供氮氣吹掃,并在現場測試期間證明在亞微米水平上無顆粒。該系統的蓋子耐化學腐蝕,并在整個系統的非濕潤區域使用涂有ECTFE的316不銹鋼螺釘固定。