目錄:孚光精儀(中國)有限公司>>表面微納測量>>橢偏儀>> FPANG-SE200BE-solar光伏光譜橢偏儀
產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
光伏光譜橢偏儀是專業(yè)為光伏太陽能領(lǐng)域薄膜測量而開的太陽能薄膜橢偏儀,為光伏薄膜厚度測量研究提供便利,具有實時原位測量光伏薄膜厚度和太陽能薄膜厚度繪圖的功能,通過配置不同波段,可測量CdTe薄膜厚度和CIGS薄膜厚度。
光伏光譜橢偏儀典型應用
防反射增透鍍膜涂層、SiNx、SiOx測厚
CdTe、CIGS、CdS、Mo薄膜測厚
非晶硅、納米硅和晶體硅測量
各種TCO薄膜(ITO、FTO、IZO、AZO等)測量
光伏光譜橢偏儀具有250-1100nm的波長范圍,覆蓋從深紫外到可見光再到近紅外的光譜范圍.深紫外波長非常適合測量硅晶圓的薄膜厚度,典型值在2nm左右。
橢圓偏振技術(shù)是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術(shù)。
與反射計或反射光譜技術(shù)不同的是,光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變?nèi)肷浣谴笮。色@得許多組數(shù)據(jù),這樣就非常有助于*化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力,因此變角橢偏儀功能遠遠大于固定角橢偏儀。
光伏光譜橢偏儀solar特色
易于安裝,拆卸和維護
**的光學設(shè)計
自動改變?nèi)肷浣牵肷浣欠直媛矢哌_0.01度
高功率250-1100nm光源適合多種應用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學常數(shù)數(shù)據(jù)庫
提供工程師模式,服務模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設(shè)置和光學模型測量
一鍵快速測量
全自動標定和初始化
精密樣品準直界面直接樣品準直,不需要額外光學
精密高度和傾斜調(diào)整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出
光伏光譜橢偏儀solar參數(shù)
波長范圍:250-1100nm
波長分辨率:1nm
測量點大小:1-5mm可調(diào)
入射角:0-90度可調(diào)
入射角分辨率:5度
可測樣品大小:高達160x160mm
可測樣品厚度:高達20mm
測量薄膜厚度:0nm ---20um
測量時間:~1s/點
精度:~0.25%
重復精度:<1A
光伏光譜橢偏儀solar可選配件
反射或透射光度測量配件
微點測量小面積
X-Y位移臺用于厚度繪圖
加熱臺/制冷臺用于薄膜動力學研究
垂直樣品安裝測角計
波長拓寬到IR范圍
掃描單色儀配置