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這款全自動勻膠機是進口自動勻膠儀器,采用功能強大的旋涂機系統專為所有應用的研究和可變工藝而設計。其特點是能夠全自動旋涂操作。
全自動勻膠機POLOS SPIN4000A是一款獨立的全自動旋涂機系統。鋼制外殼保證了無污染的工作區，其組件確保了300x300mm基板的可重復、可編程旋轉過程。
全自動勻膠機特征
自動光刻膠分配，最多3個噴嘴（可選）
8.5英寸觸摸屏
真空泵
上蓋（可選）
全自動勻膠機規格參數
旋涂轉速：6000rpm
轉速精度：0.1%
旋涂旋轉方向：順時針，逆時針
最大加速度：<=3000rpm/s
最大襯底直徑：300mm(圓形）或8'' x 8''(方形）
尺寸：650 (w) x 1200 (h) x 945 (d) mm
重量:350kg
功耗：1KW
真空：-600 mm Hg