目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學精密機械類>>精密位移臺>> XYZ三維壓電掃描臺
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 化工,生物產業 |
|---|---|---|---|
| 組件類別 | 光學元件 |
這款XYZ三維壓電掃描臺,Piezo Positioning Stage是為壓電掃描定位設計的三維壓電掃描臺和XYZ電掃描臺,廣泛用于掃描探針顯微鏡壓電掃描,原子力顯微鏡壓電掃描和微納操作,非常在開放和閉環系統中的光學元件壓電掃描定位和掃描探針壓電掃描應用。
XYZ三維壓電掃描臺活動的中心部件掛在柔性彈簧上，由壓電驅動器驅動，確保了應用的高剛度和高穩定性。XYZ三維壓電掃描臺的設計為運動提供了的線性和平整度，與經典的采用壓電陶瓷管的壓電掃描臺相比，中空壓電掃描臺可提供球形掃描面并具有更高機械強度。
XYZ三維壓電掃描臺配備了電容位移傳感器，包括在數字反饋鏈系統內，進行數字閉環控制。它提供了高精度和線性運動，消除了對壓電陶瓷的蠕變效應。測量電容傳感器的TDC芯片（時間數字轉換器），安裝柱離傳感器最近的位置，發出電子信號與測量得的電容成正比。這樣可以將外部噪音的影響降至，還可以使用長電纜連接到控制器。
XYZ三維壓電掃描臺特點
雙電容傳感器反饋技術
低頻噪聲電阻
補償壓電陶瓷的蠕變效應
水平方向上掃描位移行程200µM
垂直方向位移行程20µM
超高分辨率，為0.1nm
中空孔徑高達45mm
低成本
設計緊湊，重量輕，剛度高
是顯微鏡應用的理想XYZ三維壓電掃描臺
通用性強
具有XYZ三維壓電掃描臺型號
XYZ三維壓電掃描臺應用
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計量學應用
生物學研究
電子學應用
微操作等。
XYZ三維壓電掃描臺規格
運動特性
主動軸 XY(Z)
XY運動范圍, µm 200 x 200
Z軸運動距離, µm 20
分辨率（閉環）nm 1
分辨率（開環）,nm 0.1
整范圍內的角度傾斜，° ＜0.01
最大掃描速度， Hz 10
控制性能
XY軸電容量, pF 30
Z軸電容量, pF 35
機械性能
諧振頻率Z軸， kHz 30
諧振頻率 XY, kHz 1
負載容量, g 100
操作溫度范圍，°C - 40…80
尺寸，mm 100 x 100 x 33 mm
材料 鋁
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