主動磁場屏蔽消磁系統 ECS是專業為電鏡等電子束儀器屏蔽磁場干擾而設計的主動磁場屏蔽和主動消磁裝置系統.用于為科學儀器裝置免受磁場干擾影響的環境.主動磁場屏蔽消磁系統在原有的磁場屏蔽室內增設主動磁場消磁儀器,為精密科學儀器提供磁場屏蔽環境。
主動磁場屏蔽消磁系統 ECS特點
模塊化設計,降低維護成本，比如電源模塊可單獨取出*換而不需要維護整套系統
高電流輸出,*化補償線圈,帶來*為可靠的使用
尺寸較小的傳感器,25mm直徑，60mm長度,方便安裝到合適位置,帶來*高的衰減因數
純模擬設計，不會沖突，不會存在磁陷阱
被動制冷技術，無風扇，無噪音，*長使用壽命
全球安裝超過500套
同時適合SEM和TEM顯微鏡
磁場補償系統同時消除3軸磁性
可補償直流電磁場和交流電磁場，補償范圍DC-1000Hz
***大消磁能力高達3uT
全部工作頻率衰減可達40dB
噪音水平低于0.7nT
6線圈設計提供**的消磁和磁場補償效果
主動磁場屏蔽消磁系統 ECS應用
掃描電子顯微鏡SEM
透射電子顯微鏡TEM
聚焦粒子束FIB
質譜儀器MASS
電子束光刻系統EBL
掩膜檢測裝置設備
晶圓檢測系統
其它電子束EB儀器
干擾磁場無處不在,需要屏蔽消磁： 直流磁場：靜磁場是指強度、方向基本不變的穩恒磁場。
交流磁場：指強度、方向發生周期性變化的磁場。
隨機磁場：由地鐵、汽車等通過時而產生的磁場???
電氣設備?機器的運作/停止等引發的磁場???
磁場的紊亂會對精密儀器的性能帶來不良影響
受直流磁場的影響，圖像偏移不清；圖像紊亂，圖像消失不見；
受交流磁場影響：圖像?有類似線條等出現
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