目錄:孚光精儀(中國)有限公司>>分析儀器>>電鏡樣品制備儀器>> FPTOR-TT-DSR臺式濺射鍍膜儀
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,地礦,電子 |
臺式濺射鍍膜儀又叫噴金儀,Sputter Coater,能夠均勻地涂覆非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣紝?dǎo)電試樣上的金(Au),銀(Ag),鈀(Pa)和鉑(Pt)薄膜等貴金屬,是進(jìn)口濺射鍍膜儀品牌中濺射鍍膜儀價格適中的噴金儀。
臺式濺射鍍膜儀良好設(shè)計使用戶能夠輕松地裝載和卸載樣品并快速更換目標(biāo)。
和噴金儀特征
貴金屬涂層,如金(Au),銀(Ag)等
觸摸屏和彩色顯示屏
能夠繪制濺射參數(shù)圖
包括用于圖形,數(shù)據(jù)提取和軟件更新的USB端口
厚度監(jiān)測系統(tǒng),用于測量涂層過程中的厚度
兩級,直驅(qū)170 L / m,旋片泵
150 mm外徑x 150 mm Pyrex氣缸室
0-100 mA開關(guān)電源
極限真空:小于30毫托
氣體:氬氣 - 99.999%(調(diào)節(jié)至2-5psig);推薦但不需要
手動或自動定時和厚度濺射
控制濺射速度,達(dá)到更精細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)
高精度石英晶體厚度監(jiān)視器
在濺射過程中保護(hù)樣品免受加熱
關(guān)閉時系統(tǒng)自動通風(fēng)。氮?dú)馀欧艢猓蛇x)
獨(dú)立于壓力自動控制濺射功率
自動控制陰極的溫度,以保護(hù)磁體的使用壽命
使用全自動觸摸屏控制快速輸入數(shù)據(jù)
精密計量閥為了控制真空壓力
繪制壓力,厚度和電流曲線
將曲線和濺射過程數(shù)據(jù)通過USB端口傳輸?shù)絇C
ISO 9001:2008,CE認(rèn)證
和噴金儀技術(shù)規(guī)格
熱電偶規(guī) | 0.001-1mbar |
磁控濺射陰極 | 2英寸 |
微控制器 | 用于自動編程過程 |
觸摸屏監(jiān)視器7“ | 編程,處理,參數(shù)說明 |
真空室 | 派雷克斯室7英寸 |
目標(biāo) | 0.15毫米金 |
水晶厚度計頭 | 石英晶體保持性 |
薄膜厚度監(jiān)視器 | 程序能力和1nm進(jìn)動 |
樣品架 | SEM樣品架標(biāo)準(zhǔn)(電動) |
旋轉(zhuǎn)葉片泵 | 14m3 /小時。 2級油封 |
快門 | 電子快門 |
計量閥 | 細(xì)針 |
自動排氣閥 | 1/4“電動 |
主體 | 金屬立方體300x500x500 mm |
外形尺寸 | 450mm H×500mm寬×370mm D |
裝運(yùn)重量 | 18千克(不含真空泵)34千克泵 |
直流電源 | 0-100 mA |
功率 | 220V-50Hz-6A |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)