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大型光譜橢偏儀SE200BM-M450具有450mm直徑樣品臺(tái)，提供更為安全的樣品操作和定位，具有250-850nm的波長范圍，是美國Angstrom公司為大尺寸樣品薄膜厚度測量而設(shè)計(jì)的美國進(jìn)口光譜橢偏儀,Spectroscopic,Ellipsometer,具有高性價(jià)比橢偏儀價(jià)格和橢偏儀品牌。
與反射計(jì)或反射光譜技術(shù)不同的是，光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變?nèi)肷浣谴笮。色@得許多組數(shù)據(jù)，這樣就非常有助于優(yōu)化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于固定角橢偏儀。
改變橢偏儀入射角的方法有兩種，一種是手動(dòng)調(diào)節(jié)，一種是自動(dòng)調(diào)節(jié)入射角，我們可提供兩種模式的橢偏儀。
大型光譜橢偏儀特色
特別為大尺寸晶圓等樣品薄膜測量而設(shè)計(jì)
易于安裝，拆卸和維護(hù)
良好的光學(xué)設(shè)計(jì)
自動(dòng)改變?nèi)肷浣牵肷浣欠直媛矢哌_(dá)0.01度
高功率光源適合多種應(yīng)用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實(shí)或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫
提供工程師模式，服務(wù)模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設(shè)置和光學(xué)模型測量
一鍵快速測量
全自動(dòng)標(biāo)定和初始化
精密樣品準(zhǔn)直界面直接樣品準(zhǔn)直，不需要額外光學(xué)
精密高度和傾斜調(diào)整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出

大型光譜橢偏儀參數(shù)
波長范圍：250-850nm
波長分辨率：1nm
測量點(diǎn)大小：1-5mm可調(diào)
入射角：0-90度可調(diào)
入射角分辨率：5度
可測樣品大小：高達(dá)450mm 直徑
可測樣品厚度：高達(dá)2mm
測量薄膜厚度：0nm ---20um
測量時(shí)間：~1s/點(diǎn)
精度：~0.25%
重復(fù)精度：<1A