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300mm納米壓印技術(shù)用于大批量增強/混合現(xiàn)實玻璃制造
面向MEMS、納米技術(shù)和半導體市場的晶圓鍵合與光刻設備(含納米壓印設備)的領(lǐng)仙供應商 EVG宣布,與特種玻璃和微晶玻璃領(lǐng)域的世界領(lǐng)仙技術(shù)集團SCHOTT合作,證明300毫米(12英寸)納米壓印光刻技術(shù)(NIL)在下一代增強/混合現(xiàn)實(AR/MR)頭戴設備耳機的波導/光導制造中使用的高折射率(HRI)玻璃晶圓的大批量圖案化已準備就緒。
此次合作涉及EVG專有的SmartNIL ®工藝和SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶圓,將在EVG位于奧地利總部的NILPhotonics®能力中心進行。SCHOTT將于9月4日至7日在深圳會展中心舉行的中國國際光電博覽會上展示一款采用EVG SmartNIL技術(shù)制成圖案的300毫米SCHOTT RealView™玻璃晶圓。
SCHOTT增強現(xiàn)實技術(shù)負責人Ruediger Sprengard博士表示:“將高折射率玻璃晶圓的制造擴展到 300 毫米,對于實現(xiàn)規(guī)模經(jīng)濟至關(guān)重要,我們的客戶需要滿足當今和未來領(lǐng)仙的AR / MR設備不斷增長的市場需求。"通過雙方的共同努力,EVG和SCHOTT展示了300毫米HRI玻璃制造所需的設備和供應鏈準備情況。"
到目前為止,使用納米壓印技術(shù)對具有光子學應用結(jié)構(gòu)的玻璃基板進行圖案化處理僅限于200毫米基板。向300毫米晶圓加工的過渡是AR / MR頭戴設備耳機進入大眾消費市場和工業(yè)市場的重要一步。然而,在這些較大的基板上保持基板的高質(zhì)量和工藝均勻性是很難控制的事情,需要先進的自動化和工藝控制能力。EVG的SmartNIL技術(shù)是多年研究、開發(fā)和實驗的結(jié)晶,旨在滿足納米圖案化的需求,并已被實踐證明可輕松從芯片級樣品尺寸一直擴展到大面積基板。今年6月,EVG推出了HERCULES NIL 300 mm,將SmartNIL引入300毫米制造領(lǐng)域,支持各種器件和應用的生產(chǎn)需求,包括用于AR、MR和虛擬現(xiàn)實(VR)耳機頭戴設備的光學器件,以及3D傳感器、生物醫(yī)療器件、納米光子學和等離子體。
“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年,為NIL供應鏈中的各種合作伙伴和公司提供了一個開放式創(chuàng)新孵化器,從而縮短創(chuàng)新型光子器件和應用的開發(fā)周期和上市時間,“ EVG企業(yè)技術(shù)開發(fā)和知識產(chǎn)權(quán)總監(jiān)Markus Wimplinger表示,“我們很高興與SCHOTT公司合作,展示EVG納米壓印解決方案的價值,不僅可以促進新技術(shù)和新工藝的開發(fā),還可以加快其進入大眾市場的速度。我們與SCHOTT合作開展的工作證明了納米壓印設備和工藝的成熟度,并為各種令人興奮的基于光子學的新產(chǎn)品和應用的300毫米制造奠定了基礎。"
SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶圓是領(lǐng)仙的AR / MR器件的關(guān)鍵組件,已經(jīng)實現(xiàn)了批量生產(chǎn)。產(chǎn)品組合提供了高達1.9的折射率,支持深度沉浸式AR / MR應用,視野更加寬廣,可達65度。在與AR硬件制造商合作研發(fā)多年后,SCHOTT于2018年推出了第一代SCHOTT RealView™。上市僅一年,這款產(chǎn)品就榮獲了久負盛名的2019年SID顯示行業(yè)大獎(SID Display Industry Award 2019)。
關(guān)于SCHOTT
SCHOTT是特種玻璃、微晶玻璃和相關(guān)高科技材料領(lǐng)域的國際領(lǐng)仙技術(shù)集團。公司擁有130多年的經(jīng)驗,是眾多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴,其中包括家用電器、制藥、電子、光學、生命科學、汽車和航空業(yè)。SCHOTT在全球34個國家設有生產(chǎn)基地和銷售辦事處。集團目前擁有員工超過15,500名,2017/2018財年的銷售額為20.8億歐元。總部位于德國美因茨的母公司SCHOTT AG,由卡爾蔡司基金會(Carl Zeiss Foundation)全資擁有。卡爾蔡司基金會是德國歷史最悠久的私立基金會之一,作為一家基金會公司,SCHOTT對員工、社會和環(huán)境負有特殊責任。
關(guān)于EVG
EV Group (EVG) 是為半導體、微機電系統(tǒng) (MEMS)、化合物半導體、功率器件和納米器件制造提供大批量生產(chǎn)設備和工藝解決方案的領(lǐng)仙供應商。主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合、薄晶圓加工和光刻/光刻納米壓印 (NIL) 設備,光刻膠涂布機,以及清潔和檢測/計量系統(tǒng)。EVG 成立于 1980 年,為全球各地的客戶和合作伙伴提供服務和支持。