鵬宸電氣空壓機用擴散硅壓力變送器

擴散硅壓力變送器選用高精度、高穩定性壓力傳感器組件，經過高可靠性的放大電路及精密溫度補償，將被測介質的絕壓或表壓轉換成4~20mA，0~5VDC，0~10VDC及1~5VDC等標準電信號。高質量的傳感器、全密封焊接的封裝技術以及完善的裝配工藝確保了該產品的優異質量和非常佳性能。該產品有多種接口形式和多種引線方式，能夠非常大限度的滿足客戶的需要，適用于與各種測量控制設備配套使用。

全密封焊接結構 防雷擊 防射頻干擾

小體積 高穩定性 高靈敏度

多種量程選擇 用戶方便調試

采用進口擴散硅傳感器 抗擾強

長期穩定性好 高精度 全不銹鋼結構

316不銹鋼隔離膜片構

作為四種傳感器芯體的其中之一的擴散硅芯體已經越來越廣泛的應用到壓力傳感器生產運用中，所以有必要了解其工作原理及使用中該注意的一些事項，下面作個簡單說明：

一、 一般介紹：

硅單晶材料在受到外力作用產生極微小應變時（一般步于400微應變），其內部原子結構的電子能級狀態會發生變化，從而導致其電阻率劇烈變化（G因子突變）。用此材料制成的電阻也就出現大變化，這種物理效應稱為壓阻效應。利用壓阻效應原理，采用集成工藝技術經過摻雜、擴散，沿單晶硅片上的特點晶向，制成應變電阻，構成惠斯凳電橋，利用硅材料的彈性力學特性，在同一切硅材料上進行各向異性微加工，就制成了一個集力敏與力電轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。給傳感器匹配一放大電路及相關部件，使之輸出一個標準信號，就組成了一臺完整的壓力變送器。

二、 技術特點：

1、 靈敏度高

擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應變片高50~80倍，它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。對接囗電路適配性好，應用成本相應較低。由于它輸入激勵電壓低，輸出信號大，且無機械動件損耗，因而分辯率*。

3、 可靠性高

擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應變數量級，膜片z大位移量在來微米數量級，且無機械磨損，無疲勞，無老化。平均*時間長，性能穩定，可靠性高。

2、 精度高

擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉換和檢測三位一體，無機械動件連接轉換環節，所以不重復性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好萊塢，形變小，因而傳感器的線性也非常好。因此綜合表態精度很高。

4、頻響高

由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結構前置安裝特殊設計，使傳感器頻率響應很高，使用帶寬可達零頻至100千赫茲。

6、 抗電擊穿性能好

由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強磁

場、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊壓力變送器。

5、 度性能好

隨著集成工藝技術進步，擴散硅敏感膜的四個電阻一致性得到進一步提高，原始的手工

補償已被激光調阻、計算機自動休整技術所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數已達10-5

/℃數量級，工作溫度也大幅度提高。

7、 耐腐蝕性好

由于擴散硅材料本身優良的化學防腐性能好，即使傳感器受壓面不隔離，出能在普通使

用中適應各種介質。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔離時結構工藝更易于實現。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質安全防爆的特點，可替代諸多同類型的同功能產品

鵬宸電氣空壓機用擴散硅壓力變送器

三、 選項型提要

1、 傳感器、變送器的選擇

用戶根據自己所測壓力的性質，首先應確定選擇表壓（相對于當地大氣壓）、差壓、壓力或負壓品種。如果測量液位，還要確定液位上方是自由大氣壓還是密封容器壓力。如果測量密封承壓容器內的液位就應該選用差壓產品。

2、 產品量程的確定

從產品安全考慮，一般選擇使工作壓力值在標準量程值的60%-80%為宜，整個測

量系統中可能出現的異常情況所導致的過載壓力不得超過產品允許的z大過載。測量動態管路液體壓力時，還應考慮水垂效應，適當增大產品載量，亦可向我所進行技術咨詢。

3、 產品精度選擇

產品等級按多項參數分檔，檔級越高，價格越貴。用戶可依據所檢測工況要求各項和某

單項參數精度指標，以便用較低的價格實現較高的精度要求。產品給出的三項精度指標是采用z小二乘法或端基平移法計算的。選用傳感器時。精度等級確定應根據測量系統分配發給傳感器的z大誤差選項取。有時還應考慮零位時漂、零位和滿度溫度系數帶入的附加誤差。

5、 差壓傳感器、變送器的選擇

通用差壓傳感器、變送器通常使用在高壓端壓力高于低壓端壓力的正差壓情況下，雖然擴散硅傳感器都可同樣用于負差壓，一般兩引壓端基本對稱，但負壓端一般不另標定，如用戶要求兩引壓端高對稱性，需特別告知。低壓端在系統中有可能出現的超負量程使用，此時需與我公司協商。

6、頻響特性

擴散硅傳感器固有頻率相對于其它產品較高，除此之外更多的情況是傳感器結構的引壓腔結構參數影響和傳感器結構基體剛體的尺寸影響，后者不可能不限長，故主要還是引壓腔影響，用戶定貨時可與我公司協商解決。

7、與被測介質的匹配

傳感器、變送器接囗和電子殼體由多種不同的結構材料生產。具有不同的介質兼容性，

為了獲得*的使用效果，不致因介質不匹配而使產品損壞，用戶在選型定貨時應明白介質的準確名稱、濃度、溫度。

4、 選擇產品的使用溫度范圍

產品在出廠前已經過線性溫度補償。其中有些系列的變送器在組裝了電路后又進行了綜合溫度補償。補償范圍在單項產品介紹中已標出。如用戶有特殊要求，可與我公司協商。對于使用溫度范圍寬而又要求總精度高的用戶，還可在二次儀表數據處理中采用軟件執行溫度誤差修正。超過補償區使用，溫度系數指標可能會超標，但仍可使用。長期在溫度極限區工作，產品壽命將大大縮短。用戶使用工況如長期在低溫或超指標高溫區工作?？膳c我公司協商特制。