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FT160專為微焦斑和超薄鍍層分析而設計，針對最小部件的測量優化了光學系統和探測器技術。
使用FT160可實現更多操作：
高強度X射線——儀器的核心是一個具有30μm光束的新型毛細管光學系統，非常適合微小的半導體圖案和超小組件。
高靈敏度的SDD探測器——這款高性能設備使計數速率翻倍，從而提高生產率。
高清相機——觀察相機的分辨率高，其具有16倍數字變焦功能，更容易觀察半導體和PCB表面并易于導航。
智能控制器軟件——可對FT160進行依照形狀和圖案自動查找測量位置的編程，以提高測量吞吐量和準確性。
應用
高分辨率 SDD
元素范圍： 鋁 - 鈾
樣品艙設計：開閉式
XY 軸樣品臺選擇：自動臺、晶片樣品臺
最大樣品尺寸：600 x 600 x 20 毫米
濾光片：1 或 3
毛細管聚焦光斑尺寸< 20µm
XRF控制器軟件
FT160能夠提供：
| 毛細管光學系統和高靈敏度的SDD探測器，以提供準確性。
| 測量尺寸小于50µm的部件。
| 快速結果和使用簡易性，以支持高吞吐量。
| 用于快速設置樣品的大型樣品門和樣品臺。
| 進行測試觀察的大型樣品觀察窗。
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