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天津中環電爐股份有限公司 天津中環電爐股份有限公司
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022-26980130

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[供應]PECVD系統

貨物所在地:天津天津市
更新時間:2024-11-26 09:33:48
有效期:2024年11月26日 -- 2025年5月27日
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產品簡介
款PECVD系統配置:1.1200度開啟式雙溫區真空管式爐2.等離子射頻電源3.多路質量流量控制系統4.真空系統(可選配中真空或高真空)
詳細介紹

PECVD系統

PECVD系統產品應用
PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。
PECVD系統產品組成:
此款PECVD系統配置:
1.1200度開啟式雙溫區真空管式爐
2.等離子射頻電源
3.多路質量流量控制系統
4.真空系統(可選配中真空或高真空)  
PECVD系統產品特點:
生長溫度低;沉積速率快;成膜質量好,適用范圍廣,設備簡單。
 

 

系統名稱

1200雙溫區PECVD系統

系統型號

PECVD-12II-3Z/G

PECVD-12II6-3Z/G

zui高溫度

1200

加熱區長度

420mm

610mm

恒溫區長度

280mm

400mm

溫區

雙溫區

雙溫區

石英管管徑

Φ50/Φ60/Φ80

Φ80/Φ100

額定功率

3.2Kw

4.8Kw

額定電壓

220V

220V

溫度控制

國產程序控溫系統50段程序控溫;

控制精度

±1

爐管zui高工作溫度

1200

氣路法蘭

本實用新型在密封法蘭與管件連接的地方采用多環密封技術,在密封法蘭與管外壁間形成了密封,在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效,該密封法蘭的安裝只需在*次使用設備的時候安裝

氣體控制方式

質量流量計

氣路數量

3路(可根據具體需要選配氣路數量)

流量范圍

0-500sccm(標準毫升/分,可選配)氮氣標定

精度

±1%F.S

響應時間

≤4sec

工作溫度

5-45

工作壓力

進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

系統連接方式

采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數顯真空測量儀

規格

中真空

高真空

系統真空范圍

10Pa-100Pa

1x10-3Pa-1x10-1Pa

真空泵

雙極機械泵理論極限真空度1x10-1Pa,抽氣速率4L/S,出氣口配有油污過濾器,額定電壓220V,功率0.55Kw

真空分子泵理論極限真空度
1x10-4Pa抽氣速率160L/S
額定電壓220V 功率2Kw

信號頻率

13.56MHz±005%

功率輸出范圍

5W-500W

zui大反射功率

200W

射頻輸出接口

50ΩN-type,temale

功率穩定度

±0.1%

諧波分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流(187V-253V)頻率50/60HZ

整機功率

≥70%

屏幕顯示

正方向功率,匹配器電容位置,偏置電壓值

爐體外形尺寸

340×580×555mm

480×770×605mm

系統外形尺寸

530*2310*750mm

530*2310*750mm(不含高真空)

系統總重量

270kg

350kg


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