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金屬有機化學氣相沉積鍍膜系統(MOCVD)PX 2729
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PECVD高真空等離子體增強化學氣相薄膜沉積系統PX 1800
PECVD高真空等離子體增強化學氣相薄膜沉積PX 1800
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CVD化學氣相沉積系統PX 3606
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