光譜反射薄膜測厚儀
- 公司名稱 北京燕京電子有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2018/5/27 4:53:53
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等離子,清洗機微小信號測量儀;頻率特性分析儀;信號發生器;高速雙極型放大器;生體計測系統;濾波器;計測系統;LCR儀表;AE計測裝置;微小信號測量儀;鎖相放大器;鎖相電壓表;超低噪聲放大器;前置放大器;隔離放大器;交流電源;變頻電源;仿真電源;功率放大器;可編程濾波器;低噪聲放大器
廣泛應用于:
半導體制造 (PR, Oxide, Nitride..)
液晶顯示器(ITO, PR, Cell gap…..)
醫學、生物薄膜或材料
印刷油墨,礦物學,顏料,碳粉
光學薄膜 TiO2, SiO2, Ta2O5…..
半導體化合物
功能薄膜在MEMS /微光機電系統 ?
非晶,納米及結晶硅
太陽能光伏材料涂層
技術參數:
產品規格:
波長范圍: 250到1100 nm
光斑尺寸: 500微米至5毫米
樣品尺寸: 200x200mm
基板尺寸:zui高達50毫米的厚度
測量厚度范圍: 2納米至50微米
測量時間: 2毫秒zui低
精度:優于0.5 %
重復性 :<1 ?
系統配置:
•型號:SR100R
•探測器:2048像素CCD
•光源:大功率氘和鹵素光源
•光傳遞方式:光纖
•載物臺:黑色鋁合金,可方便調節樣品的高度,200mmx200mm大小
•通訊:與計算機的USB
•測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
•軟件:TFProbe 2.2
•電源:110 - 240伏交流電/ 50 - 60赫茲
•保修:一年主機及配件
主要特點:
易于安裝和容易操作的軟件視窗
*的光學設計,*的系統性能
陣列探測器系統,以確保快速測量
測量薄膜厚度和折射率,zui高達5層
可以收集反射,透射和吸收光譜,以毫秒為單位
能夠用于實時或在線厚度,折射率監測
系統具有全面的光學常數數據庫
*的TFProbe軟件允許用戶使用NK表,有效快速的分析測試樣品。
可升級到中型( Microspectrophotometer )系統,開關磁阻電機繪圖系統,多通道測試系統,
直接測量的圖案或功能結構
適用于許多不同類型的襯底上不同厚度測量
各種配件供特殊配置,如運行測量的曲面
二維和三維圖形輸出和良好的用戶數據處理界面