波長(zhǎng)范圍:360nm-1050nm 快速全自動(dòng)量測(cè) 精密量測(cè)膜厚及折射率 各種功能材料的光學(xué)常數(shù)測(cè)量和光譜特性分析 15Å~至幾個(gè) um(依賴(lài)何種材料) 橢貨參數(shù)精度: ≦0.01for Tan (ψ); ≦0.01 for Cos (Δ) 直接測(cè)量透明基板上之鍍膜,無(wú)需基板背面處理或染黑 與工研院*的合作來(lái)往建立的光學(xué)基礎(chǔ),同時(shí)引進(jìn)美國(guó)、法國(guó)、日本、德國(guó)等*技術(shù),并與不同業(yè)界客戶(hù)交流的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn),因此相當(dāng)了解客戶(hù)的需求與困擾,所以無(wú)論在硬件與軟件或是分析應(yīng)用,都能滿(mǎn)足客戶(hù)的需求,目前國(guó)內(nèi)外也有相當(dāng)多的實(shí)績(jī)。 高質(zhì)量之光學(xué)與電動(dòng)元件,無(wú)需防震桌。 燈泡更換容易,客戶(hù)可自行操作,無(wú)需校正。 FFT-在應(yīng)用分析上,可除了橢圓儀原本的回歸分析,還增加了傅利葉的分析方式,可針對(duì)不同的材料與厚度使用,User使用上更為便利與快速. 具有Analyzer Tracking功能,可大幅提升量測(cè)精度,與PEM之效果相同。 可搭配反射儀使用,可于日后Upgrade 可量測(cè)透明基板,無(wú)需背后處理。 可Upgrade為 in line量測(cè)設(shè)備。 采用美國(guó)進(jìn)口光譜儀,量測(cè)速度快。 使用步進(jìn)馬達(dá)并非Rotating Polarizer,避免馬答損壞。 固定量測(cè)角度-70度,可避移動(dòng)時(shí)所造成的量測(cè)誤差與機(jī)械損害(光學(xué)儀器都應(yīng)減少移動(dòng))。 產(chǎn)品性?xún)r(jià)比,質(zhì)量與量測(cè)能力可達(dá)甚至超越國(guó)外儀器之水平,公司備有DEMO儀器,可供客戶(hù)實(shí)施操作比較。 應(yīng)用:量測(cè)LED外延片、觸摸屏鍍層的厚度和折射率等參數(shù)。 |