核心功能描述:
實現快速弧高及臺階測量:綜合放大倍率8.0x—100x ,支持偏角觀察功能。
可測弧高臺階范圍1.0um — 20mm(一般弧高的高度不超過800um)
核心系統配置:
用途
1. 金線弧高測量
2. 金線偏角觀察
3. 臺階測量
型號
Wibon-50R
樣品臺
X平移、Y平移、R旋轉,實現*360度觀察
聚焦
電動聚焦系統,影像自動聚焦功能;Z軸線性反饋系統,
解析率
:1.0um;
探測系統
特殊顯微組合設計;
綜合放大倍率
8.0x~100x;
帶偏角觀察功能
照明方式
環形/ 同軸照明可選
軟件系統
全功能圖像處理軟件系統
帶虛擬弧高算法功能
檢查性能
帶高品質影像抓拍功能
重復性精度:
開環控制 3σ<5.0um
閉環控制 3σ<1.0um