日本ULVAC愛發科半導體中電流離子注入機
日本ULVAC愛發科半導體中電流離子注入機
中電流離子注入機SOPHI-200/260
中電流離子注入機SOPHI-200/260是一款配備技術的8、6和5英寸離子注入機。我們正在接受抽樣。
特征
配備技術的平行束離子注入機。
價格低，運行成本低，
小型、輕量、
超薄晶圓可直接轉移。
目的
半導體、電子元件
功率器件薄基板工藝、SiC工藝
研發
規格
| 物品 | 索菲-200 | SOPHI-260 |
| 能量范圍 | 3~200keV | 3~260keV |
| 光束平行度 | 0.2°以下 | |
| 均勻性 | 0.5%以下 | |
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