化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>化學氣相沉積設(shè)備>CME-200E/400 日本ULVAC愛發(fā)科半導設(shè)備化學氣相沉積設(shè)備
CME-200E/400 日本ULVAC愛發(fā)科半導設(shè)備化學氣相沉積設(shè)備
- 公司名稱 玉崎科學儀器（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CME-200E/400
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/11/25 10:11:47
- 訪問次數(shù) 49
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真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,環(huán)境測量設(shè)備 環(huán)境檢測設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導設(shè)備化學氣相沉積設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導設(shè)備化學氣相沉積設(shè)備
單片PE-CVD設(shè)備CME-200E/400
單片式PE-CVD設(shè)備CME-200E/400是適合批量生產(chǎn)的PE-CVD設(shè)備，適合形成硅基絕緣膜、阻擋膜等。
特征
27.12MHz高密度等離子工藝
SiH 4型：SiO 2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS 型：可提供 SiO 2薄膜
可使用NF 3 +Ar 等離子體清潔腔室
可配備用于有機EL低溫成膜的加熱器
通過托盤傳送支持最大尺寸為□200mm的電路板（CME-200E）（支持CME-400：300×400）
目的
功率器件
LED、LD、高速器件
有機EL
太陽能電池
微機電系統(tǒng)
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