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半導體爐管清洗機 爐管道清洗

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芯矽科技是一家專注半導體濕法設備制造公司,主要提供實驗室研發級到全自動量產級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學品/研磨液供應回收系統及工程,公司核心產品12寸全自動晶圓化學鍍設備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據行業主導地位,已經成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導體濕法設備

爐管清洗機是一種專門用于清洗工業爐管內壁的設備,旨在去除積碳、結焦和其他雜質,以保持爐管的清潔和正常運作。以下是對爐管清洗機的詳細介紹:

設備構成

儲液部:負責儲存清洗所需的化學藥劑或去離子水。

清洗部:包括清洗槽、溢流排放槽等,是進行實際清洗操作的部分。

供液機構:將儲液部的液體輸送到清洗部,確保清洗過程中液體的供應。

廢液回收機構:收集并處理清洗過程中產生的廢液,減少環境污染。

工件支撐及旋轉驅動機構:用于支撐待清洗的爐管,并通過旋轉驅動機構使爐管在清洗過程中轉動,以提高清洗效率。

排風系統:在清洗過程中排出可能產生的有害氣體,保障工作環境的安全。

給排水系統:負責設備的給水和排水,確保清洗過程的順利進行。

電器部分:包括控制系統、傳感器、電磁閥等,用于控制設備的運行狀態和參數設置。

技術特點

主體材料:采用德國進口的PP板和優質不銹鋼骨架,外包PP板,確保設備的耐腐蝕性和結構穩定性。

管路材質:DIW管路及構件采用日本進口的clean-PVC管材,酸堿管路采用PFA/PVDF材質,滿足高純度和安全性要求。

安全措施:設有EMO(急停裝置)、強電弱點隔離、三層防漏樓盤傾斜漏液報警等多重安全保護措施,確保設備運行的安全性。

應用領域

半導體制造:用于石英爐管或石英舟的濕法化學處理,如腐蝕、清洗等步驟。

光學鍍膜:在光學器件的鍍膜前,對石英基片進行清洗,去除表面的雜質和污染物。

材料科學研究:用于清洗實驗中使用的石英爐管或石英舟。

半導體爐管清洗機  爐管道清洗



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