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本所自開發(fā)RTP快速退火系列產(chǎn)品以來已近30年。自1988年受中科院委托研發(fā)光照快速熱處理設(shè)備以來與清華,北大,浙大,半導體所,微電子所,物理所等高校研究所共同進步,為華為,三安光電,中電科等半導體企業(yè)保駕護航,也被一些海外的教授專家所青睞。如香港理工大學,香港中文大學,香港科技大學。美國堪薩斯州立大學,美國揚斯頓州立大學和新加坡南洋理工大學也有數(shù)臺在科研教學一線。
快速退火爐,真空快速退火爐
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