省空間
采用我社開發(fā)的壓電控制器和筆記本電腦,大大節(jié)省了空間。
測(cè)定速度的提升
改善了圖像數(shù)據(jù)的讀取以及解析算法,加快了測(cè)定的速度。
可自動(dòng)校準(zhǔn)
配上3軸壓電受臺(tái)(選件),可實(shí)現(xiàn)干涉儀條紋設(shè)為0條紋的校準(zhǔn)作業(yè)的自動(dòng)化,可提高作業(yè)效率(球面測(cè)定時(shí))。
解析軟件的高機(jī)能化
更新為以自動(dòng)校準(zhǔn)機(jī)能為中心的解析軟件,可對(duì)應(yīng)更精細(xì)的需求。
數(shù)碼變焦機(jī)能
用數(shù)碼變焦可在1倍到3倍以每0.1的倍率設(shè)定,微小機(jī)件的確認(rèn)也變得簡(jiǎn)單了。
2D、3D彩色圖像顯示
通過2D彩圖的顯示可確認(rèn)波面相位以及橫切面的形狀。3D圖像更能直觀地顯示波面的相位。
合格與否的判定機(jī)能
設(shè)定規(guī)格值,在生產(chǎn)線上可簡(jiǎn)單地進(jìn)行合格與否的判定。而且可設(shè)定與客戶定義像差相對(duì)應(yīng)的規(guī)格值。
可定制畫面
具有保存、讀取畫面排版狀態(tài)的機(jī)能,可設(shè)定適合使用場(chǎng)所以及產(chǎn)品的排版。
主要用途:
· 評(píng)價(jià)鏡片、平面光學(xué)部品研磨面的面精度
· 評(píng)價(jià)鏡片、平面光學(xué)部品透過波面的定量
· 評(píng)價(jià)反射鏡、硬盤、晶片、磁頭等金屬面的面精度評(píng)價(jià)
規(guī)格
解析方式 | 條紋掃描方式 |
測(cè)定條紋條件 | 正弦波狀強(qiáng)度分布的干涉條紋 (不可進(jìn)行多重干涉的干涉條紋解析) |
干涉條紋顯示圖像尺寸 | 640×470(像素) |
再現(xiàn)性 | PV值:0.01λ(2δ)以下、 RMS值:0.003λ(2δ)以下 |
解析機(jī)能 | PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3以及Zernike系數(shù)的解析與顯示 |
合格與否的判定 | PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3等的規(guī)格值設(shè)定與合格與否的顯示 |
3軸壓電受臺(tái)沖程(選件) | 粗動(dòng):±3mm(XYZ的各軸) 微動(dòng):12μm(XYZ的各軸) |
使用環(huán)境 | 水平無震動(dòng)的場(chǎng)所 (地面震動(dòng)±0.8/S2)以下 溫度:23± 3℃ 濕度:60%以下,無凝露 |
· 因測(cè)定時(shí)的設(shè)置環(huán)境不同,會(huì)發(fā)生機(jī)械性能不能充分發(fā)揮的時(shí)候,敬請(qǐng)?jiān)彛?
· 本裝置不保證Traceability體系中的精度。
主畫面
解析結(jié)果以2維圖表以及3維鳥瞰圖表示。在2維圖表中可顯示橫切面的形狀。而且各像差以及Zernike系數(shù)將以數(shù)值形式顯示。如有設(shè)定規(guī)格值時(shí),將會(huì)顯示柱型統(tǒng)計(jì)圖以及合格與否(○/×)??稍诓藛沃羞M(jìn)行各種設(shè)定、數(shù)據(jù)的保存以及讀取。
<解析結(jié)果顯示技能>
· P-V、RMS、Pwr
· 賽德爾像差Tilt、Focus、像差A(yù)S、慧差Coma、球差Sa3
· 3維鳥瞰圖、2維彩圖
· 橫切面?zhèn)让嫦瘢╔、Y方向、PV、RMS)
· 合格與否判定結(jié)果
<文件輸入輸出機(jī)能>
· 工作參數(shù)的保存與讀取
· 條紋數(shù)據(jù)的保存與讀取
· 測(cè)定區(qū)域的保存和讀取
· 畫面版面的保存與讀取
· 主窗口打印
測(cè)定結(jié)果保存
測(cè)定結(jié)果可作為條紋數(shù)據(jù)保存于文檔中。且左右畫面可作為文本形式復(fù)制至剪貼板,可粘貼到表計(jì)算軟件。
測(cè)量區(qū)域設(shè)定畫面
可同時(shí)設(shè)定四角形、圓形、多角形的多個(gè)測(cè)量區(qū)域。在不進(jìn)行特殊形狀設(shè)定時(shí),亦可令程序按百分比自動(dòng)圈劃區(qū)域。
<測(cè)量區(qū)域機(jī)能>
· 特殊形狀區(qū)域設(shè)定(四角形、圓形、多角形、自動(dòng)圈劃區(qū)域)
· 自動(dòng)圈劃設(shè)定
工作參數(shù)設(shè)定畫面
可設(shè)定產(chǎn)品名等的屬性,波長(zhǎng)選擇、Fitting次數(shù)選擇、像差清除設(shè)定、表示單位選擇、對(duì)Zernike系數(shù)的offset的設(shè)定、規(guī)格值設(shè)定、用戶定義像差設(shè)定等的設(shè)定。
<工作參數(shù)設(shè)定機(jī)能>
· 產(chǎn)品名、單位名、注釋
· Fitting次數(shù)(3/4/9/16/25/36)
· 像差清除(像差/Zernike系數(shù))
· 顯示單位(λ、μm、nm、條紋)
· 對(duì)Zernike系數(shù)的offset設(shè)定
· 規(guī)格值(各像差以及用戶定義式)