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XTRAIA CD-3010G 玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度射線
- 公司名稱 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) XTRAIA CD-3010G
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/29 10:00:37
- 訪問次數(shù) 175
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真空泵;離心機(jī),;監(jiān)測(cè)儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計(jì)數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備,環(huán)境測(cè)量設(shè)備 環(huán)境檢測(cè)設(shè)備
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
|---|
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度射線
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku高精度射線
可以使用 GISAXS CD 測(cè)量和 X 射線反射率 (XRR) 測(cè)量來測(cè)量薄膜厚度、密度和粗糙度。
兼容最大 300mm 晶圓
XTRAIA CD-3010G 規(guī)格
| 方法 | 掠入射小角 X 射線散射測(cè)量 (GISAXS) X 射線反射測(cè)量 (XRR) | |
|---|---|---|
| 目的 | 淺重復(fù)結(jié)構(gòu)的臨界尺寸測(cè)量 | |
| X射線源 | 封裝管，Cu Ka (8.04 KeV) | |
| X射線光學(xué)系統(tǒng) | 多層鏡光學(xué)系統(tǒng) | |
| X射線探測(cè)器 | 二維探測(cè)器 | |
| 主要部件 | 圖案化晶圓的測(cè)量 周期性精細(xì) 3D 形狀 線和空間、點(diǎn)或孔結(jié)構(gòu) 淺孔/柱、抗蝕劑、掩模圖案、存儲(chǔ)器件的單元區(qū)域、FinFET/GAA | |
| 特征 | 模式識(shí)別和全晶圓映射 | |
| 選項(xiàng) | GEM300 軟件，E84/OHT 支持 | |
| 機(jī)身尺寸 | 1865(W) × 3700(D) × 2115(H) mm, 2965 kg（含裝載口） | |
| 測(cè)量目標(biāo) | GISAXS：節(jié)距、CD、高度、SWA（側(cè)壁角）、RT（圓頂）、RB（圓底）、線寬分布、節(jié)距分布、高度分布 XRR：膜厚、密度和粗糙度差 | |
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